FUJI错误代码查询.pdf - 第4415页

------------------------------ Code: 8000F702 Display: 动力OFF异常（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: Remedy: ------------------------------ Code: 8000F703 Display: 吸嘴更换器挡板打开异常（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器挡板…

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Remedy: MWU12i：请通过维修保养指令-单元退避菜单内实行退避指令，当金元收存到料箱内后，再重新向自我诊
断模式切换。
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Code: 8000F69D
Display: MWU高度异常（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU高度测定结果超出规定范围。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：1.请先将MWU与机器分离，然后再确认安装面上是否有异物。2.如果执行步骤1之后异常还是无
法消除，则请重新启动机器。3.如果执行步骤2之后异常还是无法消除，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人
员。
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Code: 8000F69E
Display: MWU供料托架厚度测定异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：供料托架高度测定的测定结果发生了问题。有可能高度测定传感器的安装处于不适合的状态或者
高度测定传感器出现故障。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F69F
Display: 料盘接合片定位点读取异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘接合片定位点的读取失败了。请将料盘托盘安装在料盘箱内后重启运转。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：（１）料盘托盘处于拉出状态时，请根据步骤向导，将晶圆托盘从料站上拉出后返回到料槽上。
（２）请确认错误影像，确认接合片定位点上是否有污垢或者伤痕。因为污垢等影响不能进行识别时请进行清扫。
（３）定位点自体没有异常时
（３-１）可能料盘没有被正确安装。安装时请将料盘向料盘箱里面推到底。
之后，请重启运转。
（３-２）料站轨道上有污垢时，可能不能正常拉出。请清扫轨道和料盘托盘。
之后，请重启运转。
（４）进行了以上对策后还是发生异常时，请更换料盘托盘。
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Code: 8000F6A0
Display: MWU托架高度测定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是托架两边的某一边插入了错误的站位。如果托架两边都插入了同一站位，则有可能是高度
测定传感器安装不正确或出现了故障。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认托架两边的某一边是否插入了错误的站位。如果站位有误，则请先重新装入托架，然后再
重新开始运转。如果托架两边都插入了同一站位，请收集出错时的日志并联系售后服务人员。
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Code: 8000F701
Display: 动力ON异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的动力ON失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请按下紧急停止SW后，确认料盘箱门、侧面盖罩、Tower slide。
为了查明原因，请确认安全继电器ON时必需的IO。
DX000 安全继电器正常
DX001 料盘箱门关闭确认
DX002 Tower slide关闭确认
DX003 料盘箱Light Curtain确认
DX005 侧面盖罩关闭确认
DX00A 紧急停止SW正常
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Code: 8000F702
Display: 动力OFF异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F703
Display: 吸嘴更换器挡板打开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器挡板打开失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY04A 吸嘴更换器挡板打开 ON、
NY04B 吸嘴更换器挡板关闭 OFF
时，请进行调整使：
NX04A 吸嘴更换器挡板打开端 ON、
NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端 OFF
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Code: 8000F704
Display: 吸嘴更换器挡板关闭异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器挡板关闭失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY04A 吸嘴更换器挡板打开 OFF、
NY04B 吸嘴更换器挡板关闭 ON
时，请进行调整使：
NX04A 吸嘴更换器挡板打开端 OFF、
NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端 ON
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Code: 8000F705
Display: 吸嘴更换器上升异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器上升失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY040 吸嘴更换器上升 ON、
NY041 吸嘴更换器下降 OFF
时，请进行调整使：
NX040 吸嘴更换器上升端 ON、
NX041 吸嘴更换器下降端 OFF
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Code: 8000F706
Display: 吸嘴更换器下降异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器下降失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY040 吸嘴更换器上升 OFF、
NY041 吸嘴更换器下降 ON
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时，请进行调整使：
NX040 吸嘴更换器上升端 OFF、
NX041 吸嘴更换器下降端 ON
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Code: 8000F707
Display: Pod changer上升异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的Pod changer上升失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY042 Pod changer上升 ON、
NY043 Pod changer下降 OFF
时，请进行调整使：
NX050 Pod changer上升端 ON、
NX051 Pod changer下降端 OFF
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Code: 8000F708
Display: Pod changer下降异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的Pod changer下降失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY042 Pod changer上升 OFF、
NY043 Pod changer下降 ON
时，请进行调整使：
NX050 Pod changer上升端 OFF、
NX051 Pod changer下降端 ON
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Code: 8000F709
Display: 除静电装置复位异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F70A
Display: 除静电装置放电开始异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F70B
Display: 除静电装置放电停止异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F70C
Display: 元件料尽显示闩锁ON 异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：元件料尽闩锁 ON 控制时发生超时。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。
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