FUJI错误代码查询.pdf - 第4436页
Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：检查结果发现晶圆上的裸芯片发生突发性偏移。 检查结果：Failed( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。 请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范围」。 请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服…
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：读取的条形码虽适用于过滤文件，但没有能满足过滤条件的条形码。
子错误编码为读取的条形码的个数。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：1.请确认贴在晶圆上的条形码。粘贴个数和子错误编码不一致时，有可能是有条形码没有被读取
。请确认条形码是否脏了或是有偏移。
2.请确认过滤条件。如有变更时，在PC等上修改过滤文件并转送至机器。
请重新传送JOB之后，重新读取并进行确认。
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Code: 8000F7C8
Display: multi block ID读取异常
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Cause: MWU12i：multi block的二维码读取失败(补充编码)
Remedy: MWU12i：通过辅助软件获取影像，确认二维码的读取位置、读取区域尺寸、亮度等是否正常。请确认二维
码是否存在剥落现象或粘有污垢。请打开JOB，从[Package Data]-[Pickup block ID:]修正读取条件后重新传送。
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Code: 8000F7C9
Display: multi block ID读取异常
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Cause: MWU12i：二维码长度超出规定范围(补充编码)
Remedy: MWU12i：请减少粘贴在multi block上的二维码的字数。
字数最多不能超过30。
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Code: 8000F7CA
Display: 因multi block切换而停止
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于multi block生产时用于吸取的block切换了，所以为了让作业员确认而停机。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请根据补给指示调整吸取位置。补给完之后，重新开始生产。
如果相对于元件尺寸来说补给时的对完位后的偏位程度很小(大致基准是含Reference的补正时不超过元件尺寸的
20%)，则可以设置为“在生产过程中操作员不确认”。关于详细内容，请参考「multi block生产运用手册」。
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Code: 8000F7CB
Display: 吸取的晶圆图的切换失败了
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Cause: MWU12i：在切换料槽或者用multi block的切换block时，吸取的晶圆图的切换失败了。使机器异常停止重
新启动后恢复。(补充编码)
Remedy: 请用MWU12i:1.[Ready]按键解除异常，按下[Start]按键重新开始生产。2.如果频繁发生异常时，对不起麻
烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 8000F7D0
Display: 测出晶圆图偏移
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Cause: MWU12i：检查结果表明晶圆图发生偏移。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误吸取状况来锁定「影响范围」。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定吸取坐标的步骤开始重新操作。
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Code: 8000F7D1
Display: 测出晶圆图偏移
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检查结果发现晶圆上的裸芯片发生突发性偏移。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范围」。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的步骤开始重新操作。
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Code: 8000F7D2
Display: 测出晶圆图偏移
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Cause: MWU12i：检查结果表明有可能发生晶圆图偏移或突发性偏移。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范围」。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的步骤开始重新操作。
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Code: 8000F7D3
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
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Cause: MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并
提供给本公司的售后服务。
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Code: 8000F7D4
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
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Cause: MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。
(2)通过上一步无法解决异常时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的影像
一并提供给本公司的售后服务。
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Code: 8000F7D5
Display: 晶圆生产日志异常
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Cause: MWU12i：可能是正在使用晶圆时，晶圆图的数据(文件)被更换。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认晶圆图的数据(行列数)在生产过程中是否有变更。
如果晶圆图数据没有变更，则请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影
像一并提供给本公司的售后服务。
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Code: 8000F7D6
Display: 晶圆生产日志异常
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Cause: MWU12i：可能在使用晶圆的过程中，变更了对象元件数据的元件尺寸。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认是否在生产过程中变更了Job内元件数据的元件尺寸。
如果元件尺寸没有变更，则请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像
一并提供给本公司的售后服务。
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Code: 8000F7D7
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
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Cause: MWU12i：未发现需要检查的晶圆生产日志。
可能是对应晶圆还未开始生产或晶圆生产日志已损坏。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)晶圆还未开始生产时，请开始生产需要检查的晶圆。
(2) 请查看存储器。(可用空间)。
(3) 不能解决时，请重新接通电源。
(4)通过以上步骤无法解决异常时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶
圆影像一并提供给本公司的售后服务。
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Code: 8000F7D8
Display: 裸芯片的误拾取
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Cause: MWU12i：可能拾取了对象外的裸芯片而导致误贴装。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
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Code: 8000F7D9
Display: 重复处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：对于同一个位置裸芯片，出现了意外的处理结果。
在对象晶圆中多次连续指定拾取开始点时，拾取方向有可能出错。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
拾取方法没有错误时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的影像一并提供
给本公司的售后服务。
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Code: 8000F7DA
Display: 检查指令失败
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Cause: MWU12i：未发现检查工具。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)请接通电源，重新检查对象晶圆的生产日志。
(2) 执行1后仍没有解决问题时，请重装软件。
(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
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Code: 8000F7DB
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