FUJI错误代码查询.pdf - 第3777页

Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的Pod形状的数据。 ( 补充编码 ) Remedy: 请确认Collet规格数据的Pod形状。 ------------------------------ Code: 80008B79 Display: Collet规格数据范围外异常 Used by: NXT,AIM Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的Pod直径[X]的数…

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Remedy: 请确认Collet规格数据的配置群组。
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Code: 80008B72
Display: Collet规格数据异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的象限[最大PIN数]的数据。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Collet规格数据的象限[最大PIN数]。
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Code: 80008B73
Display: Collet规格数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的坐标X[最大PIN数]的数据,或者坐标X的位置指定超过
了-10~10。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Collet规格数据的坐标X[最大PIN数]并将位置指定在-10~10的范围内。
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Code: 80008B74
Display: Collet规格数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的坐标Y[最大PIN数]的数据,或者坐标Y的位置指定超过了
-10~10。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Collet规格数据的坐标Y[最大PIN数]并将位置指定在-10~10的范围内。
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Code: 80008B75
Display: Collet规格数据异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的PIN的有无[最大PIN数]的数据。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Collet规格数据的PIN的有无[最大PIN数]。
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Code: 80008B76
Display: 筒夹规格数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 在筒夹规格数据中没有相应的能够吸取的最小晶片尺寸的数据,或者,能够吸取的
最小晶片尺寸超出了0~99。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认筒夹规格数据的能够吸取的最小晶片尺寸,将能够吸取的最小晶片尺寸控制在0~99的范围内。
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Code: 80008B77
Display: 筒夹规格数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 在筒夹规格数据中没有相应的能够吸取的最大晶片尺寸的数据,或者,能够吸取的
最大晶片尺寸超出了0~99。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认筒夹规格数据的能够吸取的最大晶片尺寸,将能够吸取的最大晶片尺寸控制在0~99的范围内。
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Code: 80008B78
Display: Collet规格数据异常
Used by: NXT,AIM
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Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的Pod形状的数据。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Collet规格数据的Pod形状。
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Code: 80008B79
Display: Collet规格数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的Pod直径[X]的数据、或者Pod直径[X]超过了0~999。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Collet规格数据的Pod直径[X]并将Pod直径[X]在0~999的范围内。
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Code: 80008B7A
Display: Collet规格数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的Pod直径[Y]的数据、或者Pod直径[Y]超过了0~999。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Collet规格数据的Pod直径[Y]并将Pod直径[Y]在0~999的范围内。
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Code: 80008B7B
Display: Collet规格数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的Pod定位点读取位置修正X的数据、或者Pod定位点读取
位置修正X超过了-30~30。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Collet规格数据的Pod定位点读取位置修正X并将Pod定位点读取位置修正X在-30~30的范围内。
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Code: 80008B7C
Display: Collet规格数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 没有符合Collet规格数据的Pod定位点读取位置修正Y的数据、或者Pod定位点读取
位置修正Y超过了-30~30。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Collet规格数据的Pod定位点读取位置修正Y并将Pod定位点读取位置修正Y在-30~30的范围内。
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Code: 80008B7D
Display: 顶起速度切换高度设定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] ShapeData-ShapeProcess-Die-PressurePin-SpeedChangeHeight 的数据值超
出了ShapeData-ShapeProcess-Die-PressurePin-PushUpHeight 的数据值。
( 补充编码 )
Remedy: 请按照PushUpHeight ≥ SpeedChangeHeight 这一关系,设定数据值。
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Code: 80008B7E
Display: 晶圆尺寸指定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 在元件数据的晶圆托架尺寸和晶圆尺寸的指定中存在问题。有可能是以下中的一个
1.被指定了现在使用的MWU的类型所不能够生产的尺寸的晶圆托架或晶圆尺寸。
2.晶圆尺寸大于晶圆托架尺寸。晶圆尺寸必须小于或等于晶圆托架尺寸。
( 补充编码 )
Remedy: 请分别确认现在使用的MWU的类型、元件数据的晶圆托架尺寸和晶圆尺寸。
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MWU的类型
Machine Configuration - Stage Type
晶圆托架的尺寸
Package Data - Package Information - Pallet Type
晶圆的尺寸
Shape Data - Shape Process - Die - Wafer Size
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Code: 80008B7F
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,与弊公司Support联系。
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Code: 80008B80
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,与弊公司Support联系。
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Code: 80008B81
Display: 晶片供应方法设定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 超出12.00mm的(晶片尺寸>12.00mm)晶片不能直接供应。
( 补充编码 )
Remedy: 请将ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-UseShuttle的设定变成Yes或Auto。(Yes:1,Auto:2)
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Code: 80008B82
Display: 分割影像处理设定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 15.00mm以下(晶片尺寸≤15.00mm)晶片不能进行分割影像取入。
( 补充编码 )
Remedy: 请将ShapeData-ShapeProcess-Die-Vision-ImagePartialFlg 的设定变成No(0)。
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Code: 80008B83
Display: 晶片翻转供应方法设定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 超出18.00mm的(晶片尺寸>18.00mm)晶片不能进行翻转供应。
( 补充编码 )
Remedy: 请将ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-DoFlip的设定变成No(0)。
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Code: 80008B84
Display: 元件外形数据值异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件用数据检查 ] 分割影像撮影位置 OffsetX在有效范围外。RANGE: -25.40~25.40 [mm]
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,与弊公司Support联系。
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Code: 80008B85
Display: 元件外形数据值异常
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