FUJI错误代码查询.pdf - 第4437页

Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：可能在使用晶圆的过程中，变更了对象元件数据的元件尺寸。 无法正确进行检查。 检查结果：Canceled( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：请确认是否在生产过程中变更了Job内元件数据的元件尺寸。 如果元件尺寸没有变更，则请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像 一并提供给本公司的售后服务。 -----------------…

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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检查结果发现晶圆上的裸芯片发生突发性偏移。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范围」。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的步骤开始重新操作。
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Code: 8000F7D2
Display: 测出晶圆图偏移
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检查结果表明有可能发生晶圆图偏移或突发性偏移。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范围」。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的步骤开始重新操作。
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Code: 8000F7D3
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并
提供给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7D4
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。
(2)通过上一步无法解决异常时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的影像
一并提供给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7D5
Display: 晶圆生产日志异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是正在使用晶圆时，晶圆图的数据(文件)被更换。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认晶圆图的数据(行列数)在生产过程中是否有变更。
如果晶圆图数据没有变更，则请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影
像一并提供给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7D6
Display: 晶圆生产日志异常
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能在使用晶圆的过程中，变更了对象元件数据的元件尺寸。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认是否在生产过程中变更了Job内元件数据的元件尺寸。
如果元件尺寸没有变更，则请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像
一并提供给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7D7
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：未发现需要检查的晶圆生产日志。
可能是对应晶圆还未开始生产或晶圆生产日志已损坏。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)晶圆还未开始生产时，请开始生产需要检查的晶圆。
(2) 请查看存储器。(可用空间)。
(3) 不能解决时，请重新接通电源。
(4)通过以上步骤无法解决异常时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶
圆影像一并提供给本公司的售后服务。
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Code: 8000F7D8
Display: 裸芯片的误拾取
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能拾取了对象外的裸芯片而导致误贴装。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。　
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Code: 8000F7D9
Display: 重复处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：对于同一个位置裸芯片，出现了意外的处理结果。
在对象晶圆中多次连续指定拾取开始点时，拾取方向有可能出错。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
拾取方法没有错误时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的影像一并提供
给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7DA
Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：未发现检查工具。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)请接通电源，重新检查对象晶圆的生产日志。
(2) 执行1后仍没有解决问题时，请重装软件。
(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
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Code: 8000F7DB
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Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于未检测到检查工具的应答而中断处理。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。
(2)请接通电源并重新检查对象晶圆生产日志。
(3)执行1、2后仍没有解决问题时，请重装软件。
(4)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
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Code: 8000F7DC
Display: 内部处理异常(晶圆生产日志检查)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：强制结束晶圆生产日志检查。
检查结果：Canceled
由于没有完成检查，因此请先实施对策检查在重新开始运转。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。
(2)请重新接通电源，实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。
(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
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Code: 8000F7DD
Display: 影像处理对象元件搜索失败(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：以下的影像处理对象的搜索失败了。(补充编码)
Remedy: MWU12i：(1)请从料盘箱中取出发生异常的料槽的托架。(2)请按下[START]按钮，重新开始运转。显示补
充向导画面，请实施更换指令。(3)请再次补充并指定吸取开始点。如果还是发生异常，则请收集出错时的跟踪数据并联
系售后服务人员。
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Code: 8000F7DE
Display: 发生了裸芯片的吸取错误。（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：发生了裸芯片的吸取错误。重新开始运转后，指定吸取开始位置。吸取错误的裸芯片在吸取开始
位置指定画面上使用红色圆圈显示。(补充编码)
Remedy: MWU12i：想要再次对吸取错误的裸芯片进行吸取动作时，指定该裸芯片的开始位置。
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Code: 8000F7DF
Display: 发生吸取错误的元件不能重试。（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为吸取的位置信息丢失，所以不能将晶圆图的状态变更为吸取错误。可能是吸取结果不能立即
反映到上传的晶圆图内。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生产时，请在异常解除后重新开
始运转。
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Code: 8000F7E0
Display: 晶圆图状态变更失败。（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能变更晶圆图状态。可能是影像处理与吸取结果不能立即反映到上传的晶圆图内。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生产时，请在异常解除后重新开
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