FUJI错误代码查询.pdf - 第4372页

(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器 和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集 出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。 ------------------------------ Code: 8000F316 Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置) Used by: NXT,AIM…

100%1 / 5282
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
------------------------------
Code: 8000F306
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F308
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F309
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴有干涉的可能 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F311
Display: PY轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F312
Display: PY轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PY轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F313
Display: 等待PY轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PY轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F314
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F315
Display: PY轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
第 4371 页
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
------------------------------
Code: 8000F316
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F318
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F319
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴有干涉的可能 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F321
Display: PZ1轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F322
Display: PZ1轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PZ1轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F323
Display: 等待PZ1轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PZ1轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F324
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F325
Display: PZ1轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
第 4372 页
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
------------------------------
Code: 8000F326
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F328
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F329
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴有干涉的可能 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F32A
Display: PZ1轴固有值异常（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因PZ1轴固有值异常而停机。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：1.请先确认序列号，然后再从accessory传输固有值备份文件，最后再重启机器。2.如果执行步
骤1之后异常还是无法消除，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F331
Display: PZ2轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ2轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F332
Display: PZ2轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PZ2轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F333
Display: 等待PZ2轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PZ2轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F334
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
第 4373 页