FUJI错误代码查询.pdf - 第4032页

Remedy: NXT：Job内的[Custom retainer thickness]项目尚未设置。或者设定值超出了公差范围。 公差范围：0.0~6.0 ------------------------------ Code: 8000ABBF Display: 料盘箱内的站位上装有无法用于生产的晶圆。 Used by: NXT,AIM Cause: NXT-H：安装在晶圆箱内的晶圆尺寸超出了晶圆箱的对应范围。(补充编码) Remed…

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Remedy: NXTR：请根据生产形态从以下3种方法中选择最恰当的方法。方法1 请用Job编制器打开对象Job并进行优
化。方法2 请先用Job编制器打开对象Job，然后再将该元件的吸取修正量的绝对值改小。方法3 请先用Job编制器打开
对象Job，通过移动供料器布局更改贴装分配，使工作头可以贴装所支持的元件。元件尺寸可以通过Shape
Data－Shape Information－Lead Tab标签页的Element Information进行确认。吸取修正量可以通过Shape
Data－Shape Process－Process标签页的Pick的Offset X以及Offset Y的值进行确认。完成修正后请重新传送Job。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/HeadCombinationPartsSizeCheck_CH.gif ">
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Code: 8000ABB9
Display: 2英寸对应模组的类型异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 只有M6-3模组才是2英寸对应模组。(补充编码)
Remedy: 请先用Job编制器打开对象(Job)，然后再确认[Module Type]项目([Machine Configuration]-[Modules]-
[Module Type])的设置是否正确。
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Code: 8000ABBA
Display: 这是无法用于2英寸对应模组的工作头
Used by: NXT,AIM
Cause: 2英寸对应模组(即[Supported Part Height]项目([Machine Configuration]-[Modules]-[Supported Part
Height])的设置为“2inch”的模组)只支持“OF”工作头。(补充编码)
Remedy: 请先用Job编制器打开对象(Job)，然后再将[Head Type]项目([Machine Configuration]-[Modules]-[Head
Type])设置为“OF”。
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Code: 8000ABBB
Display: 这是无法用于2英寸对应模组的料站
Used by: NXT,AIM
Cause: 2英寸对应模组(即[Supported Part Height]项目([Machine Configuration]-[Modules]-[Supported Part
Height])的设置为“2inch”的模组)只支持“TULT2”这种料站。(补充编码)
Remedy: 请先用Job编制器打开对象(Job)，然后再将[Stage Type]项目([Machine Configuration]-[Modules]-
[Stage Type])设置为“TULT2”。
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Code: 8000ABBC
Display: 无法对料盘元件使用低角度照明的料站类型。
Used by: NXT,AIM
Cause: AIMEX：无法对料盘元件使用低角度照明的料站类型。( 补充编码 子错误编码 1_TVR吸取功能 2_TVR供应
方向确认功能 )
Remedy: AIMEX：请变更为对应低角度照明的料盘单元-LTW/LTW2。
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Code: 8000ABBD
Display: 使用TVR吸取功能时无法使用低角度照明的吸取修正值，TVR位置。
Used by: NXT,AIM
Cause: AIMEX：吸取修正值和TVR位置的差超过46mm的料盘元件不能在使用TVR吸取功能的情况下使用低角度照
明。( 补充编码 )
Remedy: AIMEX：请修正吸取修正、TVR位置。
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Code: 8000ABBE
Display: [Custom retainer thickness]设置异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：Machine Configuration.General数据值异常：Custom Retainer Thickness(补充编码 请先用
Job编制器打开对象Job，然后再确认[Custom retainer thickness]项目([MachineConfigration] - [General]Tab标
签页 - [Custom retainer thickness])的设置是否正确。
如果设置有误，则请修改设定值并重新传输Job。)
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Remedy: NXT：Job内的[Custom retainer thickness]项目尚未设置。或者设定值超出了公差范围。
公差范围：0.0~6.0
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Code: 8000ABBF
Display: 料盘箱内的站位上装有无法用于生产的晶圆。
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：安装在晶圆箱内的晶圆尺寸超出了晶圆箱的对应范围。(补充编码)
Remedy: NXT-H：请确认对象Job的下列设置。如果设置有误，则请手工修改并重新传送Job。
晶圆箱尺寸：[生产程序一览]-[对象模型]-[对象生产线]-[设置]-[Module]-[Magazine Wafer Frame Size]
晶圆环尺寸：[Package] - [基本设定步骤] - [基本设定] - [Wafer Frame Size]
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Code: 8000ABC0
Display: 低角度照明构成异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 使用了指定的单元构成无法支持的照明模式。(补充编码)
Remedy: 由于未配置低角度照明，所以无法使用指定的照射模式。
·MachineConfigration-Modules-Low angle light1
·MachineConfigration-Modules-Low angle light2
·Shape Data-Shape Process-Top View Recognition-Check Direction-Lighting Color
·Shape Data-Shape Process-Top View Recognition-Check Direction-Lighting Pattern
请先确认上述项目，然后再优化并重新传送Job。
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Code: 8000AC01
Display: 自动更换头置放台上升端确认异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 在确认自动更换头置放台上升端时出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC02
Display: 自动更换头置放台下降端确认异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 在确认自动更换头置放台下降端时出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC03
Display: 自动更换头置放台位置获取失败
Used by: NXT,AIM
Cause: 在获取自动更换头置放台位置时出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC04
Display: 自动更换头置放台滑盖的开启状态确认异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 在确认自动更换头置放台滑盖的开启状态时出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC05
Display: 自动更换头置放台滑盖的关闭状态确认异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 在确认自动更换头置放台滑盖的关闭状态时出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC06
Display: 自动更换头置放台滑盖位置获取失败
Used by: NXT,AIM
Cause: 在获取自动更换头置放台滑盖位置时出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC07
Display: 自动更换头置放台上升异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 变更自动更换头置放台的高度时出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC08
Display: 自动更换头置放台下降异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 变更自动更换头置放台的高度时出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC09
Display: 自动更换头置放台上升超时
Used by: NXT,AIM
Cause: 自动更换头置放台在调整高度时没在规定时间内移至上端。( 补充编码 )
Remedy: (1)如果有障碍物的话，则请将其清除后再重试。(2)如果重试之后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪
数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC0A
Display: 自动更换头置放台下降超时
Used by: NXT,AIM
Cause: 自动更换头置放台在调整高度时没在规定时间内移至下端。( 补充编码 )
Remedy: (1)如果有障碍物的话，则请将其清除后再重试。(2)如果重试之后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪
数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC0B
Display: 自动更换头置放台滑盖开启异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 自动更换头置放台在开启过程中出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC0C
Display: 自动更换头置放台滑盖开启超时
Used by: NXT,AIM
Cause: 自动更换头置放台滑盖未在规定时间内完全打开。( 补充编码 )
Remedy: (1)如果有障碍物的话，则请将其清除后再重试。(2)如果重试之后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪
数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000AC0D
Display: 自动更换头置放台滑盖关闭异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 自动更换头置放台滑盖在关闭过程中出现异常。( 补充编码 )
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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