FUJI错误代码查询.pdf - 第3806页

Display: 搭载RFID单元通信异常 Used by: NXT,AIM Cause: [ 晶圆供应单元 ] 晶圆供应单元上被连接了RFID单元，但是不能进行通信。 ( 补充编码 ) Remedy: １．请通过Ready ON 解除异常，重新安装晶圆供应单元。 ２．通过上述对策没有被改善时，有可能RFID单元或晶圆供应单元发生了故障。 请修理·维修保养或者更换单元。 ------------------------------ Co…

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Remedy: １．请减少别的料槽的料盘。
２．请重新编辑Job，使得不发生占有异常。
３．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理·维修保养或者更换单元。
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Code: 80008F05
Display: I/O输入输出失败
Used by: NXT,AIM
Cause: 晶圆供应单元的I/O操作失败。( 补充编码 )
Remedy: １．请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。
２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理·维修保养或者更换单。
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Code: 80008F06
Display: 动作完成超时
Used by: NXT,AIM
Cause: 晶圆供应单元的动作没有完成。( 补充编码 )
Remedy: １.在晶圆供应单元中有可能发生了错误。如果存在晶圆供应单元发出的错误编码，请确认内容。
２. 在晶圆供应单元中没有显示任何错误时，请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。
３．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理·维修保养或者更换单。
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Code: 80008F07
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 系统内发生了处理异常。( 补充编码 )
Remedy: １．请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。
２．请关闭机器的总电源开关，然后重新启动。
３．重新启动也没有解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80008F08
Display: 在晶圆供应单元中没有被设置废弃箱
Used by: NXT,AIM
Cause: 在晶圆供应单元中没有被设置废弃箱。( 补充编码 )
Remedy: 由于灰尘或废弃元件等影响，废弃箱有可能没有被正确地设置，
请清扫后重新设置废弃箱。
不能恢复时，有可能传感器故障，请进行维修保养。
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Code: 80008F09
Display: 在晶圆供应单元的往复平台上晶片元件没有被安装
Used by: NXT,AIM
Cause: 虽然要求在晶圆供应单元的往复平台上安装晶片元件，但是，由于晶圆供应单元侧发生了错误，因此晶圆供
应单元无法安装晶片元件。( 补充编码 )
Remedy: 请按下Ready ON 按钮，确认其他发生的错误，然后进行处置。
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Code: 80008F0A
Display: 退避位置不定
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 晶圆供应单元 ] 使用RFID时，料盘箱不能退避到标记ID读取位置。
( 补充编码 )
Remedy: １．请通过Ready ON 解除异常，然后重新开始运转。
２．通过１的方法不能解除异常时，请关闭机器的总电源开关重新启动。
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Code: 80008F0B
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Display: 搭载RFID单元通信异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 晶圆供应单元 ] 晶圆供应单元上被连接了RFID单元，但是不能进行通信。
( 补充编码 )
Remedy: １．请通过Ready ON 解除异常，重新安装晶圆供应单元。
２．通过上述对策没有被改善时，有可能RFID单元或晶圆供应单元发生了故障。
请修理·维修保养或者更换单元。
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Code: 80008F0C
Display: RFID单元版本不一致
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 晶圆供应单元 ] １．请版本升级RFID单元的固件。
（当前的RFID单元的固件版本在MWU的手动指令的机器信息显示画面上能够确认。
　在NXT的机器信息显示画面上不能确认，请注意。）
( 补充编码 )
Remedy: 无
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Code: 80008F0D
Display: 晶圆供应单元通信异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 与晶圆供应单元间的通信发生了异常。( 补充编码 )
Remedy: １．请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。
２．请关闭机器的总电源开关，然后重新启动。
３．重新启动也没有解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80008F0E
Display: 晶圆供应单元通信数据不正确
Used by: NXT,AIM
Cause: 与晶圆供应单元间的通信发生了异常。( 补充编码 )
Remedy: １．请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。
２．请关闭机器的总电源开关，然后重新启动。
３．重新启动也没有解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80008F0F
Display: 晶圆供料单元吸取错误
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆供料单元的工作头上发生了吸取错误。( 补充编码 发生异常的晶圆供料单元的Holder号码如下
所示。
HolderA：1
HolderB：2
HolderC：3
HolderD：4 )
Remedy: NXT-H：吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
１．不能使用特定的Holder进行吸取时，请清扫或者更换吸嘴。
２．不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时，请调整突起高度等的设定。
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Code: 80008F10
Display: 晶圆供料单元翻转动作时元件落下
Used by: NXT,AIM
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Cause: NXT-H：晶圆供料单元的工作头在翻转动作中发生了元件落下。( 补充编码 发生异常的晶圆供料单元的
Holder号码如下所示。
HolderA：1
HolderB：2
HolderC：3
HolderD：4 )
Remedy: NXT-H：吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
１．不能使用特定的Holder进行吸取时，请清扫或者更换吸嘴。
２．不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时，请调整突起高度等的设定。
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Code: 80008F11
Display: 晶圆供料单元停止时元件落下
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆供料单元的工作头在机器停止中发生了元件落下。( 补充编码 发生异常的晶圆供料单元的
Holder号码如下所示。
HolderA：1
HolderB：2
HolderC：3
HolderD：4 )
Remedy: NXT-H：吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
１．不能使用特定的Holder进行吸取时，请清扫或者更换吸嘴。
２．不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时，请调整突起高度等的设定。
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Code: 80008F12
Display: 安装了未登录翻转生产工作头
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：选择了翻转生产的设定，但是安装的工作头不是登录工作头。在没有登录的工作头上，同时吸取时
的吸取率有可能下降而不能开始生产。(补充编码)
Remedy: NXT-H：继续生产时，请将「Permit use of a head other than the head which is registered for face-
down production」的设置变更为「Allow」。变更设定时，请在调整吸取后进行生产。或者，请更换为登录工作头。
※详细内容请参照晶圆生产运用手册的「Simultaneous Pickup On Flip」。
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Code: 80008F13
Display: 翻转生产未登录工作头使用许可设定为许可
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：虽然安装了已登录翻转生产的工作头，但是「翻转生产未登录工作头使用许可设定」为「许可」。
(补充编码)
Remedy: NXT-H：因为使用了未登录工作头，模组功能设定的「翻转生产未登录工作头使用许可设定」是「许可」的
设定，因为回到了登录工作头的使用，所以请返回到「不许可」。因为更换了工作头，所以请在调整吸取后进行生产。
※详细内容请参照晶圆生产运用手册的「Simultaneous Pickup On Flip」。
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Code: 80008F14
Display: 翻转生产专用的工作头未被登录
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：虽然选择了翻转生产的设定，但是因为在翻转生产用时已经调整的工作头没有登录到MWU中，所以
不能开始生产。(补充编码)
Remedy: NXT-H：继续生产时，请将模组功能设定的「翻转生产未登录工作头使用许可设定」变更为「许可」。※因
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