FUJI错误代码查询.pdf - 第4435页

Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：读取的条形码虽适用于过滤文件，但没有能满足过滤条件的条形码。 子错误编码为读取的条形码的个数。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：1.请确认贴在晶圆上的条形码。粘贴个数和子错误编码不一致时，有可能是有条形码没有被读取 。请确认条形码是否脏了或是有偏移。 2.请确认过滤条件。如有变更时，在PC等上修改过滤文件并转送至机器。 请重新传送JOB之后，重新读取并进行确认。…

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Remedy: MWU12i：在PC等上修改过滤文件并转送至机器。
请重新传送JOB之后，重新读取并进行确认。
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Code: 8000F7BB
Display: 条形码过滤文件异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：过滤文件内有不存在提取格式的结束记号的行。
结束记号为「>」(大于号)。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：在PC等上修改过滤文件并转送至机器。
请重新传送JOB之后，重新读取并进行确认。
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Code: 8000F7BC
Display: 条形码过滤文件异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：过滤文件内的提取格式内存在提取区间记号重复的行。
提取区间记号「<」(小于号)、「>」(大于号)。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：在PC等上修改过滤文件并转送至机器。
请重新传送JOB之后，重新读取并进行确认。
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Code: 8000F7BD
Display: 条形码过滤文件异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：过滤文件的提取格式内存在没有提取对象数据的行。
提取区间内需要有任意的元字记号类型。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：在PC等上修改过滤文件并转送至机器。
请重新传送JOB之后，重新读取并进行确认。
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Code: 8000F7C0
Display: 未按Process Times的间隔进行影像处理。
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于未按Process Times的间隔进行影像处理，所以停止了生产。(补充编码)
Remedy: MWU12i：补完料之后，请设置吸取起点并重启生产。
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Code: 8000F7C5
Display: 条形码的过滤文件链接异常(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检测出复数的晶圆图ID。
子错误编码为读取的条形码的个数。(补充编码 )
Remedy: MWU12i：1.请确认贴在晶圆上的条形码。
2.如果1块晶圆上粘贴复数条形码，则请安装过滤文件。
3.请确认过滤条件。如果过滤条件改变，则请上传过滤文件或重新上传Job。
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Code: 8000F7C6
Display: 条形码过滤文件异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆图表ID超出了长度的上限。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：在PC等上修改过滤文件并转送至机器。
请重新传送JOB之后，重新读取并进行确认。
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Code: 8000F7C7
Display: 条形码过滤文件链接异常(晶圆供料机)
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：读取的条形码虽适用于过滤文件，但没有能满足过滤条件的条形码。
子错误编码为读取的条形码的个数。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：1.请确认贴在晶圆上的条形码。粘贴个数和子错误编码不一致时，有可能是有条形码没有被读取
。请确认条形码是否脏了或是有偏移。
2.请确认过滤条件。如有变更时，在PC等上修改过滤文件并转送至机器。
请重新传送JOB之后，重新读取并进行确认。
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Code: 8000F7C8
Display: multi block ID读取异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：multi block的二维码读取失败(补充编码)
Remedy: MWU12i：通过辅助软件获取影像，确认二维码的读取位置、读取区域尺寸、亮度等是否正常。请确认二维
码是否存在剥落现象或粘有污垢。请打开JOB，从[Package Data]-[Pickup block ID:]修正读取条件后重新传送。
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Code: 8000F7C9
Display: multi block ID读取异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：二维码长度超出规定范围(补充编码)
Remedy: MWU12i：请减少粘贴在multi block上的二维码的字数。
字数最多不能超过30。
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Code: 8000F7CA
Display: 因multi block切换而停止
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于multi block生产时用于吸取的block切换了，所以为了让作业员确认而停机。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请根据补给指示调整吸取位置。补给完之后，重新开始生产。
如果相对于元件尺寸来说补给时的对完位后的偏位程度很小(大致基准是含Reference的补正时不超过元件尺寸的
20%)，则可以设置为“在生产过程中操作员不确认”。关于详细内容，请参考「multi block生产运用手册」。
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Code: 8000F7CB
Display: 吸取的晶圆图的切换失败了
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在切换料槽或者用multi block的切换block时，吸取的晶圆图的切换失败了。使机器异常停止重
新启动后恢复。(补充编码)
Remedy: 请用MWU12i:1.[Ready]按键解除异常，按下[Start]按键重新开始生产。2.如果频繁发生异常时，对不起麻
烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 8000F7D0
Display: 测出晶圆图偏移
Used by: NXT，AIM
Cause: MWU12i：检查结果表明晶圆图发生偏移。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误吸取状况来锁定「影响范围」。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定吸取坐标的步骤开始重新操作。
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Code: 8000F7D1
Display: 测出晶圆图偏移
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检查结果发现晶圆上的裸芯片发生突发性偏移。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范围」。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的步骤开始重新操作。
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Code: 8000F7D2
Display: 测出晶圆图偏移
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检查结果表明有可能发生晶圆图偏移或突发性偏移。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范围」。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的步骤开始重新操作。
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Code: 8000F7D3
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并
提供给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7D4
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。
(2)通过上一步无法解决异常时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的影像
一并提供给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7D5
Display: 晶圆生产日志异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是正在使用晶圆时，晶圆图的数据(文件)被更换。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认晶圆图的数据(行列数)在生产过程中是否有变更。
如果晶圆图数据没有变更，则请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影
像一并提供给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7D6
Display: 晶圆生产日志异常
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