FUJI错误代码查询.pdf - 第4383页

取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码时，请确认机器内是否有落下 的元件并取出。 <img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/WaferHeadUpDirection.gif"> ------------------------------ Code: 8000F427 Display: 吸嘴错误装填（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Ca…

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Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F422
Display: 吸嘴更换器滑盖关闭异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：试图在吸嘴更换器的滑盖关闭的状态下更换吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认吸嘴更换器滑盖的关闭端（NX04B）是否为打开状态。２．如果通过步骤１仍然无
法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F423
Display: 吸嘴更换器上升异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴更换器或者顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认吸嘴更换器下降端(NX041)或者顶起筒更换器下降端(NX051)是否为关闭状态。
２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F424
Display: 晶圆工作头翻转判定传感器异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头向上确认或者向下确认的传感器发生了异常。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认晶圆工作头向上确认(NX020)与晶圆工作台头向下确认(NX021)是否为同时启动的状态。
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Code: 8000F425
Display: 顶起筒更换器上升异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认顶起筒上升端(NX050)是否是打开状态。２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常
，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F426
Display: 吸嘴落下异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴落下异常。
吸嘴可能掉落在机器内。 ( 补充编码 子错误编码的下位4byte上显示检测出吸嘴落下的吸嘴头号码。
例1）子错误编码：　0x00000001
　　·吸嘴头１上 检测出吸嘴落下
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
例2）子错误编码：　0x00000013
　　·吸嘴头１上 检测出吸嘴落下
　　·吸嘴头３上 检测出吸嘴落下
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
子错误编码的上位4byte上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。
例３）子错误编码：　0x00010001
　　· 吸嘴头１上 检测出吸嘴落下
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
例４）子错误编码：　0x00130001
　　· 吸嘴头上 检测出吸嘴落下
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
　　· 吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取)
Remedy: MWU12i：请取出落下的吸嘴，按照Job的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放台。
请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照Job的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放台。
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取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码时，请确认机器内是否有落下
的元件并取出。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/WaferHeadUpDirection.gif">
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Code: 8000F427
Display: 吸嘴错误装填（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴被错误装填了。
·可能吸嘴直接被装填在晶圆工作头上。
·可能吸嘴返回时失败了。( 补充编码 子错误编码的下位４byte上显示错误装填吸嘴的吸嘴头号码。
例1）
子错误编码：　0x00000001
　·吸嘴头１上 检测出吸嘴的错误装填
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
例2）
子错误编码：　0x00000013
　·吸嘴头１上 检测出吸嘴的错误装填
　·吸嘴头３上 检测出吸嘴的错误装填
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
子错误编码的上位4byte上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。
例３）子错误编码：　0x00010002
　　· 吸嘴头２上 检测出吸嘴的错误装填
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
例４）子错误编码：　0x00130002
　　· 吸嘴头２上 检测出吸嘴的错误装填
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
　　· 吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取
)
Remedy: MWU12i：请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照Job的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放台。
取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。
子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码时，请确认机器内是否有落下的元件并取出。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/WaferHeadUpDirection.gif">
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Code: 8000F428
Display: Reference位置偏移异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是Reference的影像处理失败或是Reference偏移量超出公差值。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认读取Reference时的影像。
1）发生Reference影像处理异常时，用正常的定位点无法进行识别时，请修正用于识别的数据。
·使用正确的识别数据却发生错误时，请变更Job，使扫描范围缩到最小。
2）如果视场内没有定位点，则有可能是晶圆台上的晶圆固定位置恶化。
·在拉出晶圆时请清扫晶圆台上晶圆移动面。
·如果导致异常的原因只是定位点轻度偏移视场，请通过Job将扫描范围扩大到裸芯片的50%左右。
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Code: 8000F429
Display: 吸取位置偏移异常（晶圆拾取机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：设置的吸取位置与实际吸取位置的差超过公差值。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请收集出错时的可追踪数据以及吸取时的影像数据并联系本公司的售后服务人员。
获取追踪数据后重新指定吸取开始位置并重新启动机器。
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Code: 8000F42A
Display: 吸嘴测定单元发现高度异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为使用顶起测定单元测定吸嘴测定单元高度的结果是超过了高度公差值，所以停止了。图A：吸
嘴测定单元 图B：顶起测定单元( 补充编码 子错误编码显示发现的异常状态。1：接触位置过高。···可能有异物粘
附。2：接触位置过低。···测定单元相互之间接触不良。测定单元的动作不良时也出现此异常。)
Remedy: MWU12i：子错误编码：1时 1. 请确认图A和图B的测定单元的前端是否粘附有异物。粘附有异物时请进行
清扫。子错误编码：2时 1. 请确认图A和图B的测定单元的安装位置是否有偏移。2. 请确认图B的测定单元是否固定和
动作不良。异物·动作没有问题时，可能是传感器故障，请取得错误发生时的跟踪数据。动作不良时，因为可能需要更
换部件，请对图示位置拍照。请获取跟踪数据或照片并联系本公司的代理店或售后服务人员。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/NzlPushupMesUnit.gif">
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Code: 8000F42B
Display: 吸取开始点指定位置偏移异常（晶圆拾取机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：实际的吸取开始点位置有可能与指定的吸取开始点位置发生偏移。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：因为所指定的吸取开始点位置连续出现不良裸芯片或跳过裸芯片，最终结果有可能导致实际吸取
开始点与指定的位置发生很大差异。
这种情况下，有可能是晶圆图整体发生偏移。请先进行偏移量的确认并重启设备，然后再通过吸取开始点的指定来改变
位置。
非上述情况时，请收集出错时的追踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F42C
Display: 吸嘴长度异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检测出吸嘴的长度小于规定长度。( 补充编码 子错误编码上显示检测出异常的吸嘴头号码。
　例）00000013
　吸嘴头１和３上检测出异常。 )
Remedy: MWU12i：可能因为吸嘴缺损等导致长度有问题。
·请更换有问题的吸嘴。
·请取出所有吸嘴头的吸嘴，并返回到吸嘴更换器。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/WaferHeadUpDirection.gif">
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Code: 8000F42D
Display: 吸嘴长度异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检测出吸嘴的长度大于规定长度。( 补充编码 子错误编码上显示检测出异常的吸嘴头号码。
　例）00000013
　吸嘴头１和３上检测出异常。 )
Remedy: MWU12i：可能吸嘴没有被正常安装，或者吸嘴上有污垢。
·吸嘴有问题时，请进行清扫·更换等。
·请取出所有吸嘴头的吸嘴，并返回到吸嘴更换器。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/WaferHeadUpDirection.gif">
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Code: 8000F42E
Display: 晶圆倾斜限制异常(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：通过参考定位点识别了晶圆的倾斜度。结果是倾斜度超出了限制范围。( 补充编码 在子码中会显
示检测到异常的站位号。
例) 0x00000012
表示在12号站位上检测到了异常。)
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