FUJI错误代码查询.pdf - 第3880页

------------------------------ Code: 80009210 Display: 影像处理位置算出异常 Used by: NXT,AIM Cause: [ MWU固件(3) ] 影像处理结果有错误。 ( 补充编码 0 ：X方向 1 ：Y方向 ) Remedy: 通过参考求得的间距与实际的间距间误差较大。 请重新参考。 ------------------------------ Code: 80009211 …

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Display: 现在不使用此错误编码。
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
Remedy: 现在不使用此错误编码。
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Code: 8000920A
Display: 现在不使用此错误编码。
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
Remedy: 现在不使用此错误编码。
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Code: 8000920B
Display: 现在不使用此错误编码。
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
Remedy: 现在不使用此错误编码。
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Code: 8000920C
Display: 现在不使用此错误编码。
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
Remedy: 现在不使用此错误编码。
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Code: 8000920D
Display: 现在不使用此错误编码。
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
Remedy: 现在不使用此错误编码。
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Code: 8000920E
Display: 现在不使用此错误编码。
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
Remedy: 现在不使用此错误编码。
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Code: 8000920F
Display: 晶片读取位置范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 晶片读取位置在范围外。
( 补充编码 子码表示料槽号码。 )
Remedy: １．请确认Job的参考晶片的位置是否正确。
２．请确认实物的参考晶片的位置是否正确。
３．请确认晶圆的最大行列数是否正确。
４．请确认晶圆图表是否正确。
５．请重新启动，然后进行参考的重新设定。
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Code: 80009210
Display: 影像处理位置算出异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 影像处理结果有错误。
( 补充编码 0 ：X方向
1 ：Y方向 )
Remedy: 通过参考求得的间距与实际的间距间误差较大。
请重新参考。
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Code: 80009211
Display: PZ轴能够移动的范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] PZ轴的移动位置在能够移动的范围外。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Job的「元件厚度」「吸取修正值Z」的输入值。
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Code: 80009212
Display: 生产裸芯片或参照裸芯片影像处理结果范围异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU8i：由于生产晶片影像处理结果的偏移量超出了元件尺寸的1/2，因此，行(列)有可能发生了偏移。
MWU12i：生产裸芯片或参照裸芯片的影像处理结果的偏移量超出了元件尺寸的1／3，因此，行(列)有可能发生了偏移
。(补充编码)
Remedy: MWU8i：请实行手动指令的指定吸取开始位置。MWU12i:运转重新开始后，指定吸取开始位置。偏离吸取
开始位置时，请将吸取开始位置设定在晶片中央，重新开始生产。不能解除时，生产裸芯片或者参照裸芯片可能无法正
确识别影像，请从辅助软件获取影像并进行确认。
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Code: 80009213
Display: 晶片切割宽度设定值异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 在JOB中晶片切割宽度没有被设定。
( 补充编码 子码表示料槽号码。 )
Remedy: J请在JOB的Package Data/Package Information的[X Cut Width],[Y Cut Width]中设定数值，或者将
[Measure Wafer Cut Width and Tilt]设定为Yes。
如果知道切割晶圆后的晶片和晶片的槽宽时，请在[X Cut Width],[Y Cut Width]中设定数值。如果不知道，请通过测
试指令的晶片切割宽度设定，测定晶片切割宽度。
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Code: 80009214
Display: 晶片切割宽度检测异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 由于不能自动地检测晶圆上的晶片切割宽度，因此，想要使用JOB的晶片切割宽度，但是在
JOB中晶片切割宽度没有被设定。
( 补充编码 子码表示料槽号码。 )
Remedy: 如果知道切割晶圆后的晶片和晶片的槽宽时，请在JOB的Package Data/Package Information的[X Cut
Width],[Y Cut Width]中设定数值。如果不知道，请通过测试指令的晶片切割宽度设定，测定晶片切割宽度。
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Code: 80009215
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
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Remedy: 通常不会发生该错误。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 80009216
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009217
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009218
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009219
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000921A
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000921B
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000921C
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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