FUJI错误代码查询.pdf - 第4432页

Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：吸取开始位置超出指定范围。(补充编码 子码编码表示现在吸取位置与吸取范围的位置关系。 (图 )) Remedy: MWU12i：因为在机器重新开始运转后将进行吸取开始位置指定与吸取范围指定，所以请事先实施以下任意 处理。 1. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取开始位置指定到吸取范围内。 2. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取范围指定为能够覆盖吸取开始位置的数值。 <…

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选择「NEXT」(只能选择Engineer模式)时，跳过发生错误的裸芯片，进行位置检查后，对要处理的裸芯片进行影像处
理。
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Code: 8000F7A8
Display: 在机器上晶圆位置检查确认时参考裸芯片的影像处理错误
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在离吸取开始位置行列的相对位置上所应有的参考的影像处理失败了。吸取开始指定位置有可能
错误。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:确认影像显示，位置偏移时，请选择「RETURN」，重新指定吸取开始位置。为了识别参考的影
像数据搞错时也有发生的可能性。如果能用目测确认没有问题，选择「NEXT」(只能选择Engineer模式)后转移到生产
。
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Code: 8000F7A9
Display: 参考裸芯片指定位置异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：参考裸芯片的位置指定失败了。
可能在补料操作中指定了位置指定错误的参考裸芯片。
此异常当Flexa的[Shape Process] - [Die] - [Ref Die Pos Info By Matrix]中指定的参考裸芯片的位置不符合使用条件
（参照对策栏）时也会发生。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请将参考裸芯片指定位置指定在满足以下条件的位置上。
1.指定的裸芯片为参考裸芯片。
2.指定的裸芯片周围没有参考裸芯片。
3.指定的裸芯片周围有可以进行影像处理的裸芯片（好裸芯片或坏裸芯片）。
1时，请在参考裸芯片指定画面上调整位置。
2、3时，请变更晶圆图表，或者从Flexa的[Shape Process] - [Die] - [Ref Die Pos Info By Matrix]上，变更参考裸芯
片的坐标。
参照手册：Reference operation manual
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Code: 8000F7AA
Display: Rank信息异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：Job内设定的Rank信息可能超过了16个种类。或者晶圆图表文件内设定的BINCODE信息可能超
过了16个种类。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认Job项目的PartData-Property-Rank to use。请修正为16个种类以内的设定后，重
新传送。2．１没有问题时，请打开出现异常的晶圆图表文件，确认生产中使用的GOOD DIE的BINCODE。修正后可
以达到上述Job指定的种类加上图表文件的记述小于16个种类的Rank信息时，请修正Job后重新传送。3．步骤２中需
要编辑图表文件时，作为临时措施，通过将生产中不使用的GOOD DIE置换为BAD DIE的BINCODE等方法，变为可
以生产。4．作为３的永久措施，请获取图表文件内使用的BINCODE的规格并联系本公司的代理店或售后服务人员
，委托进行晶圆图表转换的追加研发。读入图表文件时提供改进过的转换，可以自动判断指定码是否可以作为SKIP
DIE。
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Code: 8000F7AB
Display: 晶圆倾斜度测定失败了。
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:为了补正晶圆的Q方向的倾斜度的影像处理时失败了。为了晶圆倾斜度测定需要能影像处理的裸芯
片在X方向连续的区域。(补充编码)
Remedy: MWU12i:请移动到以能影像处理的裸芯片在X方向连续的区域的中心。在X方向上没有能连续影像处理的裸
芯片时，请用「手动对齐模式」修正倾斜度。
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Code: 8000F7AC
Display: 吸取开始位置在吸取范围之外(晶圆喂料机)
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Cause: MWU12i：吸取开始位置超出指定范围。(补充编码 子码编码表示现在吸取位置与吸取范围的位置关系。 (图
))
Remedy: MWU12i：因为在机器重新开始运转后将进行吸取开始位置指定与吸取范围指定，所以请事先实施以下任意
处理。
1. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取开始位置指定到吸取范围内。
2. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取范围指定为能够覆盖吸取开始位置的数值。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/PickupStartPosOutsidePickupRange.gif">
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Code: 8000F7AD
Display: 不能参照旁边的参考裸芯片的参考裸芯片配置。
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：登录在晶圆图表上的参考裸芯片的分配不规律，所以无法参照旁边的参考裸芯片。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：子码「1」： 1.请确认登录在Job中的参考裸芯片中最上面的参考裸芯片的坐标。2.请确认晶圆
图表，确认与登录的参考裸芯片相同行、相同列中有参考裸芯片。行与列中都必须有参考裸芯片。子码「2」： 1.请确
认登录在Job中的参考裸芯片中最上面的参考裸芯片的坐标。2.请确认晶圆图表，确认登录的参考裸芯片以及周围8个
裸芯片的配置与没有登录到Job中的参考裸芯片以及周围8个裸芯片的配置没有差异。裸芯片的配置分为「参考裸芯片
」、「参考裸芯片以外」和「晶圆图表外」。配置不同时请在Job中登录相同配置的参考裸芯片。3.变更Job时请重新
传送Job并再次进行补充。详细内容请参照参考运用手册。
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Code: 8000F7AE
Display: 旁边的参考裸芯片影像处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因参照旁边的参考裸芯片时影像处理发生异常而停止。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：补充完成后从可吸取的位置上设定吸取开始点并重新开始运转。
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Code: 8000F7B1
Display: flip chip传递确认错误(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：无法确认到flip chip是否已传递。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：将机器调至ReadyOn状态并重新开动机器之后异常有可能可以解除。如果重新开动机器之后还
是出错，则请将电源关闭后再重新打开。如果还是发生错误，则有可能是主机与MWU之间出现了通信异常。请收集发
生报错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000F7B2
Display: 不能追从晶圆图
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在晶圆图上，无法识别下一个要拾取的裸芯片。
为了防止机器有可能将自动判断为无法吸取的裸芯片留在晶圆上，所以停机。(补充编码)
Remedy: MWU12i：完成晶圆补充后，请从可拾取位置的范围内设置拾取开始点。晶圆图的裸芯片状态配置不是生产
影像处理追从功能所推荐的配置时，请打开Job，并将[Package Data]-[Do FollowingVisionProcessing]设置为
"No"。详细内容请参看「晶圆图运用手册」。
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Code: 8000F7B3
Display: 料盘接合片2D码读取异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘接合片上的2D码读取失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：·请清扫条形码标签。
·请确认条形码标签是否剥落或者起皱。
·请更换料盘接合片。
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Code: 8000F7B4
Display: 晶圆环的特殊接合片的2D码读取异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆环的特殊接合片上2D码的读取失败了。( 补充编码 空:2D码的影像识别失败了。1:2D码的内
容（数值,文字列）超出规格。请重新粘贴贴纸。)
Remedy: MWU12i：A.使用晶圆环的特殊接合片时 请从辅助软件取得影像，并进行以下确认。不能连续识别时，请
更换接合片。·条形码贴纸模糊或者有污垢时，请清洁条形码贴纸。·条形码贴纸有剥落或者起伏时，请确认粘贴状态
。B.不使用晶圆环的特殊接合片时 接合片种类的识别失败了。请确认接合片的接合片识别功能块有无污垢或者破损。
不能连续识别时，请更换接合片。
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Code: 8000F7B6
Display: 不能读入晶圆条形码过滤器(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：存在超过晶圆条形码过滤器读入范围的数据。
·存在超过321文字的行
·1行中的元字符模式、数据类别、删除标志没有被定义
·定义了超过10行的过滤模式( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：1. 请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令实行导出后，在USB中保存过滤模式
。
2. 请使用PC的文本编辑器确认导出的过滤文件，并进行修正。
3. 请将修正后的过滤文件通过USB导入到机器。
详细内容请参照晶圆条形码过滤器运用手册。
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Code: 8000F7B7
Display: 晶圆条形码的过滤模式存在符号错误。(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：存在以下中的一种符号错误。
·元字符模式没有被定义
·使用了禁止文字
禁止文字：「”」(双引号)、「\」(日元符号)、「,」(逗号)、「TAB」(制表符)
·提取部分字符「<>」不存在，或者重复了。
·范围指定字符没有关闭。（没有成对）( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令修正过滤模式。
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Code: 8000F7B8
Display: 晶圆条形码过滤器中存在未对应的数据种类。(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：过滤模式的数据种类设定了未对应的值。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令删除对象过滤模式。
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Code: 8000F7B9
Display: 晶圆条形码过滤器的删除标志错误。(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：指定过滤模式的删除标志为 Y(Yes)或 N（No)。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令删除对象过滤模式。
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Code: 8000F7BA
Display: 条形码的过滤文件异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：过滤文件内有不存在提取格式的开始记号的行。
开始记号为「<」(小于号)。( 补充编码 )
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