FUJI错误代码查询.pdf - 第4381页

Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。 ------------------------------ Code: 8000F41A Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机） Used by…

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Cause: MWU12i：在吸嘴头1上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。
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Code: 8000F412
Display: 吸嘴头2安装了不明吸嘴（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在吸嘴头2上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。
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Code: 8000F413
Display: 吸嘴头3安装了不明吸嘴（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在吸嘴头3上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。
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Code: 8000F414
Display: 吸嘴头4安装了不明吸嘴（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在吸嘴头4上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。
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Code: 8000F415
Display: 内部处理异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在装有可用吸嘴的吸嘴头。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请重新按下开始按钮。２．在执行１的操作后仍然不能解除异常时，请重新开通电源。
３．如果执行了１，２的操作后仍然不能恢复正常，请收集发生错误时跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F416
Display: 自我诊断异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于正在吸取元件，因此无法切换到自我诊断模式。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请先实行维修保养指令-更换吸嘴，再废弃元件，然后重新切换到自我诊断模式。
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Code: 8000F417
Display: 吸嘴返回异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴置放台已满吸嘴无法返回。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请取出不使用吸嘴置放台的吸嘴。
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Code: 8000F418
Display: 元件带回检测（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检测出元件带回的现象。( 补充编码的子码代表对象吸嘴头的号码。1:吸嘴头1 2:吸嘴头2 3:吸嘴
头1+吸嘴头2 4:吸嘴头3 5:吸嘴头1+吸嘴头3 6:吸嘴头2+吸嘴头3 7:吸嘴头1+吸嘴头2+吸嘴头3 8:吸嘴头4 9:吸嘴头
1+吸嘴头4 A:吸嘴头2+吸嘴头4 B:吸嘴头1+吸嘴头2+吸嘴头4 C:吸嘴头3+吸嘴头4 D:吸嘴头1+吸嘴头3+吸嘴头4
E:吸嘴头2+吸嘴头3+吸嘴头4 F:吸嘴头1+吸嘴头2+吸嘴头3+吸嘴头4 )
Remedy: MWU12i：晶圆工作头内有剩余的元件时，请取出元件。没有剩余元件时，请检查晶圆工作头的吸嘴是否阻
塞。发现问题时请进行调整或更换。
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Code: 8000F419
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Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41A
Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41B
Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41C
Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41D
Display: PR轴与PZ2轴退避位置异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在PR轴、PZ2轴的退至安全位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41E
Display: PZ2轴退避位置异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在PZ2轴的退避位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41F
Display: PZ晶圆平台旋转中心定位点干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴、PZ2轴与晶圆平台旋转中心测定定位点之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F420
Display: PZ晶圆夹紧干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴、PZ2轴与晶圆夹紧之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F421
Display: PR轴退避位置异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在PR轴的退避位置。( 补充编码 )
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Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F422
Display: 吸嘴更换器滑盖关闭异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：试图在吸嘴更换器的滑盖关闭的状态下更换吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认吸嘴更换器滑盖的关闭端（NX04B）是否为打开状态。２．如果通过步骤１仍然无
法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F423
Display: 吸嘴更换器上升异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴更换器或者顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认吸嘴更换器下降端(NX041)或者顶起筒更换器下降端(NX051)是否为关闭状态。
２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F424
Display: 晶圆工作头翻转判定传感器异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头向上确认或者向下确认的传感器发生了异常。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认晶圆工作头向上确认(NX020)与晶圆工作台头向下确认(NX021)是否为同时启动的状态。
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Code: 8000F425
Display: 顶起筒更换器上升异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认顶起筒上升端(NX050)是否是打开状态。２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常
，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F426
Display: 吸嘴落下异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴落下异常。
吸嘴可能掉落在机器内。 ( 补充编码 子错误编码的下位4byte上显示检测出吸嘴落下的吸嘴头号码。
例1）子错误编码：　0x00000001
　　·吸嘴头１上 检测出吸嘴落下
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
例2）子错误编码：　0x00000013
　　·吸嘴头１上 检测出吸嘴落下
　　·吸嘴头３上 检测出吸嘴落下
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
子错误编码的上位4byte上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。
例３）子错误编码：　0x00010001
　　· 吸嘴头１上 检测出吸嘴落下
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
例４）子错误编码：　0x00130001
　　· 吸嘴头上 检测出吸嘴落下
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
　　· 吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取)
Remedy: MWU12i：请取出落下的吸嘴，按照Job的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放台。
请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照Job的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放台。
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