FUJI错误代码查询.pdf - 第4378页

Remedy: MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异常，请收集发生错误时的跟踪 数据并联系本公司的售后服务人员。 ------------------------------ Code: 8000F402 Display: 内部处理异常（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：用于排出吸嘴的空存放格不足。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：１．请重新打…

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Remedy:
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Code: 8000F3A4
Display: 晶圆拉出位置上升异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F3A5
Display: 晶圆拉出位置下降异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F3A6
Display: 晶圆抽取夹的位置不明(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆抽取夹既不在上升位置也不在下降位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：子码表示晶圆抽取夹的I/O输出状态。
0：未输出（刚启动的机器状态）
1：上升
2：下降
(1)：请查看晶圆抽取夹的附近是否有杂物。如果有杂物，请清理干净。
(3)：利用以下的信号使晶圆抽取夹上下移动而检测动作是否正常。
下降时输出 NY02B：下降=ON
输出 NY02A：上升=OFF
输出 NX027：检测到抽取夹在下降端=ON
NX026：检测到抽取夹在上升端=OFF
上升时输出 NY02A：上升=ON
输出 NY02B：下降=OFF
输出 NX026：检测到抽取夹在上升端=ON
NX027：检测到抽取夹在下降端=OFF
也有可能是汽缸驱动部内粘有杂物。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除警报时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
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Code: 8000F3A7
Display: 晶圆抽取夹下降异常(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检测出晶圆抽取夹下降异常。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请检查晶圆抽取夹的附近是否有杂物。如果有杂物，请清理干净。
(2)：利用以下的信号向晶圆抽取家下达上升指令，然后检测抽取家是否一直保持在上升端。
输出 NY02A：上升=ON
输出 NY02B：下降=OFF
输出 NX026：检测出晶圆抽取夹在上升端=ON
(3)：如果晶圆抽取夹不在上升端，则有可能是抽取夹的传感器发生异常或者汽缸发生故障，因此需要调试或更换相关部
件。
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Code: 8000F401
Display: 内部处理异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有合适的吸嘴。( 补充编码 )
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Remedy: MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异常，请收集发生错误时的跟踪
数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F402
Display: 内部处理异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：用于排出吸嘴的空存放格不足。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异常，请收集发生错误时的跟踪
数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F403
Display: 内部处理异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有吸嘴的规格数据。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异常，请收集发生错误时的跟踪
数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F404
Display: 吸嘴切换干涉确认异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴切换动作时有可能发生干涉，所以停止了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F405
Display: 吸嘴头１的吸嘴排出失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头１的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。
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Code: 8000F406
Display: 吸嘴头２的吸嘴排出失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头２的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。
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Code: 8000F407
Display: 吸嘴头３吸嘴排出失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头３的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。
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Code: 8000F408
Display: 吸嘴头４吸嘴排出失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头４的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。
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Code: 8000F409
Display: 吸嘴头１的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头１的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
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Remedy: MWU12i：·请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收
存格中。·请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正确。
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Code: 8000F40A
Display: 吸嘴头２的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头２的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：·请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收
存格中。·请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正确。
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Code: 8000F40B
Display: 吸嘴头３吸嘴安装失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头３的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：·请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收
存格中。·请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正确。
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Code: 8000F40C
Display: 吸嘴头４的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头４的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：·请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收
存格中。·请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正确。
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Code: 8000F40D
Display: 吸嘴头１的吸嘴脱落（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头１的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放格号码。)
Remedy: MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。
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Code: 8000F40E
Display: 吸嘴头２的吸嘴脱落（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头２的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放格号码。)
Remedy: MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。
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Code: 8000F40F
Display: 吸嘴头３的吸嘴脱落（供应晶圆机器）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有可能是吸嘴头３的吸嘴滑落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放格号码。)
Remedy: MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。
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Code: 8000F410
Display: 吸嘴头4的吸嘴脱落（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有可能是吸嘴头4的吸嘴脱落了。( 补充编码的子码显示为原来的存放格号码。)
Remedy: MWU12i：请将脱落的吸嘴放回原来的存放格中。
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Code: 8000F411
Display: 吸嘴头1安装了不明吸嘴（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
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