FUJI错误代码查询.pdf - 第4409页

( 补充编码 ) Remedy: ------------------------------ Code: 8000F627 Display: 晶圆托架·晶圆识别检测异常(晶圆供料装置) Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i:晶圆托架·晶圆的高度测定或者识别失败了。(补充编码) Remedy: MWU12i：1．为了消除误检测，请取出在生产中不使用的晶圆托架后重新开始运转。2.在1.不能改善的时 候，请临时取下晶…

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Remedy:
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Code: 8000F61A
Display: TQ轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F621
Display: SZ轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F622
Display: 未实施SZ轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F623
Display: SZ轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F624
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F625
Display: SZ轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F626
Display: 不能排放Dam（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与SZ轴相关的Dam排放
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( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F627
Display: 晶圆托架·晶圆识别检测异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:晶圆托架·晶圆的高度测定或者识别失败了。(补充编码)
Remedy: MWU12i：1．为了消除误检测，请取出在生产中不使用的晶圆托架后重新开始运转。2.在1.不能改善的时
候，请临时取下晶圆料盘箱，再次安装后重新开始运转。由上述对策不能解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪
数据并与敝公司的Support联系。
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Code: 8000F628
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F629
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F62A
Display: SZ轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F650
Display: 晶圆夹紧异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F651
Display: 晶圆放松异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F652
Display: 晶圆X方向定位夹紧异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：托盘的定位夹紧或者托盘有无确认失败了。请将晶圆托盘安装在料盘箱内后重启运转。( 补充编码
晶圆拉出状态时，认为是晶圆托盘左右的料槽安装错误。请将晶圆托盘正确可靠地返回到料盘箱后，重启运转。 )
Remedy: MWU12i：（１）晶圆托盘处于拉出状态时
（１-１）请根据步骤向导，将晶圆托盘从料站上拉出后返回到料槽上。
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之后，请重启运转。
（１-２）
再次发生异常时，请使用以下的IO进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作是否正确。
汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。
（２）晶圆托盘不是拉出状态时，请使用以下的IO进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作是否正确。
汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。
（３）进行了以上对策后还是发生异常时，认为是传感器异常或者汽缸故障，需要进行调整或者更换。
IO操作
进行夹紧时
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF
输入(有晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON
输入(无晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=OFF
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=OFF
输入(有晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=ON
输入(无晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=OFF
进行松开时
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF
输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=ON
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=OFF
输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(前面)=ON
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Code: 8000F653
Display: 晶圆X方向的定位松开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行晶圆X方向的定位夹紧的松开。
动作时间过长时也出现此错误。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：（１）：请确认气压供应值是否正常。
（２）：请通过以下的IO进行晶圆Ｘ方向的定位夹紧－松开操作，确认动作是否正常。
要松开时
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF
输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=ON
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=OFF
输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(跟前)=ON
要夹紧时
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF
输入 NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=OFF
输入 NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(跟前)=ON
汽缸驱动部上有异物等时可能出现胶着状态。
（３）：不能通过1,2项解除异常时，认为可能是传感器异常或者汽缸故障，请进行调整和更换。
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Code: 8000F654
Display: Q台夹紧异常（晶圆供应装置）
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