FUJI错误代码查询.pdf - 第3799页

Cause: MWU12i：参考裸芯片的配置为以下任意配置，无法 以参考4点进行补正。改为以3点进行补正。·No.1与 No.2的行号码(Y坐标)相同·No.3与No.4的行号码(Y坐标)相同·No.1与No.4的列号码(X坐标)相同·No.2与No.3的列 号码(X坐标)相同( 补充编码) Remedy: MWU12i：请修改为能以参考4点补正进行补正的配置。[Part Data]-[Property]-[Wafer Directio…

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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：外周Pin上升速度比中央Pin快。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请用Job编制器打开对象Job，变更以下的设置并再次传送。请将[Shape Data]-[Die]-[1st
stage parameters]-[Outside pin parameters]-[1st.lift speed]设置为与[Shape Data]-[Die]-[1st stage
parameters]-[Center pin parameters]-[1st.lift speed]相同的速度或更慢的速度。另外，请将[Shape Data]-[Die]-
[2nd stage parameters]-[Outside pin parameters]-[1st. lift speed]设置为与[Shape Data]-[Die]-[2nd stage
parameters]-[Center pin parameters]-[1st. lift speed]相同的速度或更慢的速度。
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Code: 80008BF2
Display: 外周Pin先动作移动量设置值异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：外周Pin上升时外周Pin先动作移动量的上限值为(补充编码)
Remedy: MWU12i：请用Job编制器打开指定Job，变更以下任何设置后再重新传送Job。（1）在[Shape Data]-
[Die]-[1st stage parameters]-[Operation order]为 [Outside pins first]时，请将[Shape Data]-[Die]-[1st stage
parameters]-[Operation order]变更为[None],[Synchronize],[Center pin first],[Center pin only],[Outside pins
only]中的任意一项。另外，[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Operation order]为[Outside pins
first]时，请将[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Operation order]设置为
[None],[Synchronize],[Center pin first],[Center pin only],[Outside pins only]中的任一一项。（2）请将[Shape
Data]-[Die]-[1st stage parameters]-[Next axis start distance]和[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-
[Next axis start distance]变更为1.0mm以下。
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Code: 80008BF3
Display: 中央Pin下降速度设置异常
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Cause: MWU12i：设置为中央Pin下降速度比外围Pin下降速度快。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请用Job编制器打开对象Job，变更以下的设置并再次传送。请将[Shape Data]-[Die]-[2nd
stage parameters]-[Center pin parameters]-[1st. lift speed]设置为与[Shape Data]-[Die]-[2nd stage
parameters]-[Outside pin parameters]-[1st. lift speed]相同或更慢的速度。
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Code: 80008BF4
Display: 中央Pin先动作移动量设置值异常
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Cause: MWU12i：中央Pin下降时的中央Pin先移动量的上限值为1.0mm。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请用Job编制器打开指定Job，变更以下任何设置后再重新传送Job。请将[Shape Data]-[Die]-
[2nd stage parameters]-[Operation order]变更为[None],[Synchronize],[Outside pins first],[Center pin
only],[Outside pins only]中的任意一项。（2）请将[Shape Data]-[Die]-[1st stage parameters]-[Next axis start
distance]和[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Next axis start distance]变更为1.0mm以下。
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Code: 80008BF5
Display: 无法空转运转的设置。
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Cause: MWU12i：设置了无法空转运转的条件。(补充编码)
Remedy: MWU12i：设置了无法空转运转的条件。空转运转不能与以下功能并用。请勿使用空转运转或修正Job以便
不使用以下功能。·不进行空转运转时 辅助软件-远程操作-生产模式设置中选择"普通生产模式"的单选按钮。·进行空
转运转时 无法使用以下功能。显示子码的详细内容。子码1：无法进行多区(Multi Blocks)的生产。请将[Package
Data]-[Packaging Type]变更为"Multi Blocks"以外的选项。自编码2：无法并用晶圆图表以及RANK生产。请将
[Package Data]-[Use Wafer Map]变更为"No"。请将[Part Data]-[Use Wafer Rank]变更为"No"。
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Code: 80008BF6
Display: 由于无法以4点参考裸芯片补正，以3点进行补正。
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Cause: MWU12i：参考裸芯片的配置为以下任意配置，无法 以参考4点进行补正。改为以3点进行补正。·No.1与
No.2的行号码(Y坐标)相同·No.3与No.4的行号码(Y坐标)相同·No.1与No.4的列号码(X坐标)相同·No.2与No.3的列
号码(X坐标)相同( 补充编码)
Remedy: MWU12i：请修改为能以参考4点补正进行补正的配置。[Part Data]-[Property]-[Wafer Direction]中设置
为"0deg"以外时以 [Wafer Direction]旋转后的坐标进行检查。
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Code: 80008BF7
Display: 为无法参考补正的配置
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Cause: MWU12i：由于参考裸芯片的配置如下，所以无法参考补正。·3点以上的参考裸芯片以直线排列·参考裸芯
片为2点时，行(Y坐标)或列(X坐标)相同( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请修正为可参考补正的配置。
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Code: 80008BF8
Display: Multi Block设定异常
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Cause: MWU12i：当前的设置是无法执行“Multi Block生产”的设置(补充编码)
Remedy: MWU12i：“Multi Block生产”需用到晶圆图。请使用Vendor或TemplateMap。
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Code: 80008C00
Display: 内部处理异常
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Cause: [ 吸取器上升端常时监视 ] 系统内发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转，请重新接通总电源开关。
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Code: 80008C01
Display: 吸取器上升端异常检测
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Cause: [ 吸取器上升端常时监视 ] XY机械手动作中检测到了吸取器上升端I/O的OFF。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认吸取器是否落下或者没有下降。
请确认模组内的吸取器是否有干涉。
详细请参照下图的[吸取器上升端异常的故障排除]。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/Troubleshooting the Picker Upper Limit Error.gif">
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Code: 80008CF1
Display: 打开文件错误
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：获取文件失败。( 补充编码 )
Remedy: NXT：(1)请先按下ReadyON按钮解除错误后再按开始按钮。(2)如果执行(1)的操作后仍然不能解除错误，请
重新打开机器的电源。(3)如果执行(2)的操作后仍然不能解除错误时，请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售
后服务人员。
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Code: 80008CF2
Display: 文件的格式不正确。
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：有可能是文件中的记述有问题，或者文件损坏了。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请获取发生错误市的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008CF3
Display: 关闭文件错误
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：关闭文件失败了。( 补充编码 )
Remedy: NXT：(1)请先按下ReadyON按钮解除错误后再按开始按钮。(2)如果执行(1)的操作后仍然不能解除错误，请
重新打开机器的电源。(3)如果执行(2)的操作后仍然不能解除错误时，请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售
后服务人员。
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Code: 80008D00
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ RFID单元 ] 系统内发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转，请重新接通总电源开关。
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Code: 80008D01
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 读取RFID标签的相关处理中发生了不正确的处理（补充编码 子错误编码的后1、2位
00：Stage1
01：Stage2）
Remedy: 1.请在ReadyON解除异常后，将料盘单元重新安装。
2.1的方法无法解除异常时，请切断断路器并重启。
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Code: 80008D02
Display: 读取RFID标签的相关处理中通迅异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 读取RFID标签的相关处理中发生了通迅异常。可以联想到以下原因。
有指示RFID标签读取，但是没有回应。
RFID标签读取结果不正确。（ 补充编码 子错误编码的后3、4位
00：Stage1
01：Stage2）
Remedy: 1.机器掌握的托盘和实际搭载的托盘可能不同。在ReadyON解除异常后，请重新安装料盘单元。
2.1的方法无法解除异常时，请切断断路器并重启。
3.2的方法无法解除异常时，有可能是料盘单元内断线或接触不良。请更换料盘单元。
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Code: 80008DF1
Display: 单元更新未初始化
Used by: NXT,AIM
Cause: 单元更新的初始化失败了。(补充编码)
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 80008DF2
Display: 未连接指定的周边机器
Used by: NXT,AIM
Cause: 更新目标单元的连接失败了。(补充编码)
Remedy: 请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 80008DF3
Display: 响应超时
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