FUJI错误代码查询.pdf - 第4419页
请确认传感器的输入状态是否与以下的状态一致。 ·远程操作I/O输入的Pin号码 NX05C、NX05D 前进位置:NX05C为ON、 NX05D为OFF 后退位置:NX05C为OFF、NX05D为ON ------------------------------ Code: 8000F71C Display: 顶起筒更换器后退异常(晶圆供应设备) Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i:顶起筒更换器后退失败了。( …
Code: 8000F714
Display: 真空泵变压器异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT:检测出真空泵变压器的异常。( 补充编码 )
Remedy: NXT:请确认真空泵的变压器。
在发布暂定信息、MWU12i时进行修正。
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Code: 8000F715
Display: 真空泵温度保险丝断开异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT:真空泵的温度保险丝断开了。( 补充编码 )
Remedy: NXT:请确认真空泵上部的温度保险丝,并进行更换。
在发布暂定信息、MWU12i时进行修正。
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Code: 8000F716
Display: 料盘箱门打开异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT:料盘箱门打开了。( 补充编码 )
Remedy: NXT:请关闭料盘箱门。
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Code: 8000F717
Display: Tower slide打开异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT:Tower slide打开了。( 补充编码 )
Remedy: NXT:请关闭Tower slide。
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Code: 8000F718
Display: 滑动式盖罩打开异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:晶圆供料机的滑动式盖罩呈打开状态。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请关闭晶圆供料机的滑动式盖罩。
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Code: 8000F719
Display: 晶圆供料机的吸嘴更换器落座确认异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:吸嘴更换器安装不良。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请打开晶圆供应机的安全门并安装吸嘴更换器。在安装了吸嘴更换器的情况下,请确认传感器的
状态[NX042]。
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Code: 8000F71A
Display: 晶圆供料机的元件废弃BOX落座确认异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:元件废弃BOX安装不良。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请打开晶圆供应机的安全门并安装元件废弃BOX。安装了元件废弃BOX时,请确认传感器的状
态[NX058]。
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Code: 8000F71B
Display: 顶起筒更换器前进异常(晶圆供应设备)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:顶起筒更换器未达到前进位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认顶起筒更换器是否适当的进行前进与后退。
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请确认传感器的输入状态是否与以下的状态一致。
·远程操作I/O输入的Pin号码 NX05C、NX05D
前进位置:NX05C为ON、 NX05D为OFF
后退位置:NX05C为OFF、NX05D为ON
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Code: 8000F71C
Display: 顶起筒更换器后退异常(晶圆供应设备)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:顶起筒更换器后退失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认顶起筒更换器是否适当的进行前进与后退。
请确认传感器的输入状态是否与以下的状态一致。
·远程操作I/O输入的Pin号码 NX05C、NX05D
前进位置:NX05C为ON、 NX05D为OFF
后退位置:NX05C为OFF、NX05D为ON
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Code: 8000F740
Display: 以太网连接失败(晶圆供应机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:以太网的连接失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。2.请重新接通机器的电源。
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Code: 8000F741
Display: 以太网接收失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:使用以太网接收数据失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。2.请重新接通机器的电源。
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Code: 8000F742
Display: 星型网络连接失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:星型网络的连接失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。2.请重新接通机器的电源。
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Code: 8000F743
Display: 星型网络接收失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:使用星型网络接收数据失败。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。2.请重新接通机器的电源。
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Code: 8000F744
Display: 星型网络通信切断失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:星型网络的通信切断失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。2.请重新接通机器的电源。
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Code: 8000F745
Display: 不明指令接收(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:接收了不明的指令。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F746
Display: 星型网络送信失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:星型网络上的数据送信失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。2.请重新接通机器的电源。
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Code: 8000F747
Display: 接收数据文件大小不正确(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:接收的数据文件大小不正确。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F748
Display: 接收数据不正确(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:接收的数据内容不正确。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F749
Display: 接收应答失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:接收回复的应答失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F74A
Display: 送信应答失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:送信的应答结果发生异常。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F74B
Display: 内部处理异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:创建送信数据失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F74C
Display: 应答数据受信失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:应答数据的接收失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F74D
Display: 应答数据分析失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:应答数据的分析是失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F74E
Display: 发生通信障碍(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
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