FUJI错误代码查询.pdf - 第4418页

Code: 8000F714 Display: 真空泵变压器异常（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: NXT：检测出真空泵变压器的异常。( 补充编码 ) Remedy: NXT：请确认真空泵的变压器。 在发布暂定信息、MWU12i时进行修正。 ------------------------------ Code: 8000F715 Display: 真空泵温度保险丝断开异常（晶圆供应装置） Used by:…

100%1 / 5282
连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。
------------------------------
Code: 8000F70D
Display: 元件料尽显示闩锁OFF 异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：元件料尽闩锁 OFF 控制时发生超时。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。
连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。
------------------------------
Code: 8000F70E
Display: 紧急停止SWON异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：按下了紧急停止SW。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请解除紧急停止SW。
------------------------------
Code: 8000F70F
Display: MWU控制I/F板保险丝断开
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU控制I/F板的保险丝断开了( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请更换MWU控制I/F板的保险丝。保险丝的更换方法请参考机械手册的「损耗品的更换」-「
MWU控制I/F板保险丝的更换」。
------------------------------
Code: 8000F710
Display: 风机旋转异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：检测出以下其中之一的风机的异常。
·吸气风机
·排气风机1
·排气风机2
·其他风机( 补充编码 )
Remedy: NXT：请打开机器右侧面盖罩后确认控制电路板的LED（PL13～18），消除异常原因。
在发布暂定信息、MWU12i时进行修正。
------------------------------
Code: 8000F711
Display: 气源压力低下异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：气源压力低下。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认气源压力，消除气源压力低下的原因。
------------------------------
Code: 8000F712
Display: 真空压力低下异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：真空压力低下。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认真空压力，消除真空压力低下的原因。
------------------------------
Code: 8000F713
Display: 真空泵压力低下异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：真空泵的真空压力低下。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认真空泵的真空压力，消除真空压力低下的原因。
------------------------------
第 4417 页
Code: 8000F714
Display: 真空泵变压器异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：检测出真空泵变压器的异常。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认真空泵的变压器。
在发布暂定信息、MWU12i时进行修正。
------------------------------
Code: 8000F715
Display: 真空泵温度保险丝断开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：真空泵的温度保险丝断开了。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认真空泵上部的温度保险丝，并进行更换。
在发布暂定信息、MWU12i时进行修正。
------------------------------
Code: 8000F716
Display: 料盘箱门打开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：料盘箱门打开了。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请关闭料盘箱门。
------------------------------
Code: 8000F717
Display: Tower slide打开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：Tower slide打开了。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请关闭Tower slide。
------------------------------
Code: 8000F718
Display: 滑动式盖罩打开异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆供料机的滑动式盖罩呈打开状态。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请关闭晶圆供料机的滑动式盖罩。
------------------------------
Code: 8000F719
Display: 晶圆供料机的吸嘴更换器落座确认异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴更换器安装不良。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请打开晶圆供应机的安全门并安装吸嘴更换器。在安装了吸嘴更换器的情况下，请确认传感器的
状态[NX042]。
------------------------------
Code: 8000F71A
Display: 晶圆供料机的元件废弃BOX落座确认异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：元件废弃BOX安装不良。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请打开晶圆供应机的安全门并安装元件废弃BOX。安装了元件废弃BOX时，请确认传感器的状
态[NX058]。
------------------------------
Code: 8000F71B
Display: 顶起筒更换器前进异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：顶起筒更换器未达到前进位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认顶起筒更换器是否适当的进行前进与后退。
第 4418 页
请确认传感器的输入状态是否与以下的状态一致。
·远程操作I/O输入的Pin号码 NX05C、NX05D
前进位置：NX05C为ON、 NX05D为OFF
后退位置：NX05C为OFF、NX05D为ON
------------------------------
Code: 8000F71C
Display: 顶起筒更换器后退异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：顶起筒更换器后退失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认顶起筒更换器是否适当的进行前进与后退。
请确认传感器的输入状态是否与以下的状态一致。
·远程操作I/O输入的Pin号码 NX05C、NX05D
前进位置：NX05C为ON、 NX05D为OFF
后退位置：NX05C为OFF、NX05D为ON
------------------------------
Code: 8000F740
Display: 以太网连接失败（晶圆供应机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：以太网的连接失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请重新接通机器的电源。
------------------------------
Code: 8000F741
Display: 以太网接收失败（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：使用以太网接收数据失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请重新接通机器的电源。
------------------------------
Code: 8000F742
Display: 星型网络连接失败（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：星型网络的连接失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请重新接通机器的电源。
------------------------------
Code: 8000F743
Display: 星型网络接收失败（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：使用星型网络接收数据失败。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请重新接通机器的电源。
------------------------------
Code: 8000F744
Display: 星型网络通信切断失败（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：星型网络的通信切断失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认MWU与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请重新接通机器的电源。
------------------------------
Code: 8000F745
Display: 不明指令接收（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：接收了不明的指令。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
------------------------------
第 4419 页