FUJI错误代码查询.pdf - 第4376页

Display: 在晶圆工作头的吸嘴头2上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机） Used by: NXT,AIM Cause: Remedy: ------------------------------ Code: 8000F370 Display: 在晶圆工作头的吸嘴头3上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机） Used by: NXT,AIM Cause: Remedy: …

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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZR轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F345
Display: PR轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F346
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZR轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F348
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZR轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F349
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F350
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头1上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F351
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头1上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F360
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头2上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F361
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Display: 在晶圆工作头的吸嘴头2上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F370
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头3上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F371
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头3上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F380
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头4上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F381
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头4上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F3A0
Display: 翻转交付位置动作异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：翻转交付位置的动作失败了。( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F3A1
Display: 翻转吸取位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：翻转吸取位置的动作失败了。( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F3A2
Display: 晶圆拉出夹紧异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F3A3
Display: 晶圆拉出松开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
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Remedy:
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Code: 8000F3A4
Display: 晶圆拉出位置上升异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F3A5
Display: 晶圆拉出位置下降异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F3A6
Display: 晶圆抽取夹的位置不明(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆抽取夹既不在上升位置也不在下降位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：子码表示晶圆抽取夹的I/O输出状态。
0：未输出（刚启动的机器状态）
1：上升
2：下降
(1)：请查看晶圆抽取夹的附近是否有杂物。如果有杂物，请清理干净。
(3)：利用以下的信号使晶圆抽取夹上下移动而检测动作是否正常。
下降时输出 NY02B：下降=ON
输出 NY02A：上升=OFF
输出 NX027：检测到抽取夹在下降端=ON
NX026：检测到抽取夹在上升端=OFF
上升时输出 NY02A：上升=ON
输出 NY02B：下降=OFF
输出 NX026：检测到抽取夹在上升端=ON
NX027：检测到抽取夹在下降端=OFF
也有可能是汽缸驱动部内粘有杂物。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除警报时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
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Code: 8000F3A7
Display: 晶圆抽取夹下降异常(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检测出晶圆抽取夹下降异常。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请检查晶圆抽取夹的附近是否有杂物。如果有杂物，请清理干净。
(2)：利用以下的信号向晶圆抽取家下达上升指令，然后检测抽取家是否一直保持在上升端。
输出 NY02A：上升=ON
输出 NY02B：下降=OFF
输出 NX026：检测出晶圆抽取夹在上升端=ON
(3)：如果晶圆抽取夹不在上升端，则有可能是抽取夹的传感器发生异常或者汽缸发生故障，因此需要调试或更换相关部
件。
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Code: 8000F401
Display: 内部处理异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有合适的吸嘴。( 补充编码 )
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