FUJI错误代码查询.pdf - 第4397页

------------------------------ Code: 8000F505 Display: EX轴错误(晶圆供料装置) Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器 数据报警) Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷 (瞬间…

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关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请再启机器后重新处理。
关于错误的详细内容，请确认子码的内容。
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Code: 8000F4EE
Display: 元件旋转方向偏移量异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：利用晶圆相机测定的元件旋转方向偏移量超过公差值。(补充编码 )
Remedy: MWU12i：晶圆整体倾斜时，为了使元件的倾斜度不超出公差范围，请调整补充晶圆的角度。
只有对象裸芯片倾斜时，为了从倾斜度较小的裸芯片开始拾取，请重新设置拾取开始点。
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Code: 8000F4F0
Display: 热补正定位点影像处理发生异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：热补正定位点的影像处理失败。关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认错误影像。请在因污垢的影像无法识别影像时进行清扫。关于影像处理错误的详细情况请
确认子码的内容。
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Code: 8000F4F1
Display: 热补正定位点数据登录异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：热补正定位点登录处理失败。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请在重启机器后重新处理。关于错误的详细内容，请确认子码的内容。
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Code: 8000F501
Display: EX轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴没有进行伺服Wake
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F502
Display: 未实施EX轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F503
Display: EX轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F504
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F505
Display: EX轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F506
Display: 不能排放Dam（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与EX轴相关的Dam排放
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F508
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F509
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F50A
Display: EX轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F511
Display: EY轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F512
Display: 未实施EY轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
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Remedy:
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Code: 8000F513
Display: EY轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F514
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F515
Display: EY轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F516
Display: Dam不能排放（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与EY轴相关的Dam排放
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F518
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F519
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F51A
Display: EY轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
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