FUJI错误代码查询.pdf - 第4414页

Remedy: MWU12i：请通过维修保养指令-单元退避菜单内实行退避指令，当金元收存到料箱内后，再重新向自我诊 断模式切换。 ------------------------------ Code: 8000F69D Display: MWU高度异常（晶圆喂料机） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：MWU高度测定结果超出规定范围。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：1.请先将MWU与机器分离，…

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Code: 8000F695
Display: 没有指定存放元件（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有指定存放的元件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F696
Display: 晶圆台位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆台不在校正测定位置（模组）。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F697
Display: 晶圆·料盘取出异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆或者料盘的取出失败了。
晶圆或者料盘残留在料盘箱和晶圆台之间。( 补充编码 因为晶圆台的晶圆达到确认(NX035)=ON(有对象物)、托架存放
确认(NX01B)=OFF
(有对象物)，所以发生此错误。 )
Remedy: MWU12i：请打开主机正面门，确认晶圆·料盘的位置。
请将晶圆台内的晶圆·料盘返回到料盘箱内。
（晶圆·料盘不在晶圆台内时，则可能在料盘箱内飞出。）
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Code: 8000F698
Display: 元件取出异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有被取出的元件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F699
Display: 存放准备位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴、TY轴不在存放准备位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F69A
Display: 晶圆台前进端异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆台不在前进端。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：因为晶圆台前进端确认（NX03C）不能ON，所以不能确认晶圆台在前进端。
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Code: 8000F69B
Display: 平台位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为晶圆供应装置的平台没有下降，所以塔滑块和滑块盖板的联锁不能解除。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请实行手动指令-料盘箱退避（托架更换位置），下降晶圆台后，重新开始运转。
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Code: 8000F69C
Display: 自我诊断异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于正在拉出晶圆而不能切换为自我诊断模式。( 补充编码 )
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Remedy: MWU12i：请通过维修保养指令-单元退避菜单内实行退避指令，当金元收存到料箱内后，再重新向自我诊
断模式切换。
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Code: 8000F69D
Display: MWU高度异常（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU高度测定结果超出规定范围。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：1.请先将MWU与机器分离，然后再确认安装面上是否有异物。2.如果执行步骤1之后异常还是无
法消除，则请重新启动机器。3.如果执行步骤2之后异常还是无法消除，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人
员。
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Code: 8000F69E
Display: MWU供料托架厚度测定异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：供料托架高度测定的测定结果发生了问题。有可能高度测定传感器的安装处于不适合的状态或者
高度测定传感器出现故障。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F69F
Display: 料盘接合片定位点读取异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘接合片定位点的读取失败了。请将料盘托盘安装在料盘箱内后重启运转。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：（１）料盘托盘处于拉出状态时，请根据步骤向导，将晶圆托盘从料站上拉出后返回到料槽上。
（２）请确认错误影像，确认接合片定位点上是否有污垢或者伤痕。因为污垢等影响不能进行识别时请进行清扫。
（３）定位点自体没有异常时
（３-１）可能料盘没有被正确安装。安装时请将料盘向料盘箱里面推到底。
之后，请重启运转。
（３-２）料站轨道上有污垢时，可能不能正常拉出。请清扫轨道和料盘托盘。
之后，请重启运转。
（４）进行了以上对策后还是发生异常时，请更换料盘托盘。
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Code: 8000F6A0
Display: MWU托架高度测定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是托架两边的某一边插入了错误的站位。如果托架两边都插入了同一站位，则有可能是高度
测定传感器安装不正确或出现了故障。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认托架两边的某一边是否插入了错误的站位。如果站位有误，则请先重新装入托架，然后再
重新开始运转。如果托架两边都插入了同一站位，请收集出错时的日志并联系售后服务人员。
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Code: 8000F701
Display: 动力ON异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的动力ON失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请按下紧急停止SW后，确认料盘箱门、侧面盖罩、Tower slide。
为了查明原因，请确认安全继电器ON时必需的IO。
DX000 安全继电器正常
DX001 料盘箱门关闭确认
DX002 Tower slide关闭确认
DX003 料盘箱Light Curtain确认
DX005 侧面盖罩关闭确认
DX00A 紧急停止SW正常
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Code: 8000F702
Display: 动力OFF异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F703
Display: 吸嘴更换器挡板打开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器挡板打开失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY04A 吸嘴更换器挡板打开 ON、
NY04B 吸嘴更换器挡板关闭 OFF
时，请进行调整使：
NX04A 吸嘴更换器挡板打开端 ON、
NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端 OFF
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Code: 8000F704
Display: 吸嘴更换器挡板关闭异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器挡板关闭失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY04A 吸嘴更换器挡板打开 OFF、
NY04B 吸嘴更换器挡板关闭 ON
时，请进行调整使：
NX04A 吸嘴更换器挡板打开端 OFF、
NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端 ON
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Code: 8000F705
Display: 吸嘴更换器上升异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器上升失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY040 吸嘴更换器上升 ON、
NY041 吸嘴更换器下降 OFF
时，请进行调整使：
NX040 吸嘴更换器上升端 ON、
NX041 吸嘴更换器下降端 OFF
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Code: 8000F706
Display: 吸嘴更换器下降异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器下降失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY040 吸嘴更换器上升 OFF、
NY041 吸嘴更换器下降 ON
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