FUJI错误代码查询.pdf - 第3790页

设定变更后请重新传送Job。 进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。 组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。 ------------------------------ Code: 80008BC5 Display: 外形数据范围外异常 Used by: NXT,AIM Cause: 通过时Reference参照功能的有效／无效设定异常( 补充编码 ) Remedy: 请将 ShapeData-…

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Code: 80008BC1
Display: 外形数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark同一行列位置指定异常
( 补充编码 )
Remedy: 请对每个Reference指定不同的行列。
·ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
　- Ref.Die Pos Info by Matrix - Col
　- Ref.Die Pos Info by Matrix - Row
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC2
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark 修正量指定异常
( 补充编码 )
Remedy: ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
· Ref. Die Pos Type　为 "Matrix"时
　－ 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset X 　在 -18.0　～ 18.0 的范围内进行指定。
　－ 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset Y 　在 -18.0　～ 18.0 的范围内进行指定。
·Ref. Die Pos Type　为 "WaferMap"时
　－ 请对 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset X 　在 -18.0　～ 18.0 的范围内进行指定。
　－ 请对 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset Y 　在 -18.0　～ 18.0 的范围内进行指定。
修正后、请重新传送Job
进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC3
Display: 外形数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark设定在了 Reference晶片外。( 补充编码 )
Remedy: ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
·Ref. Die Pos Type　为 "Matrix"时
　- 请将 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset X 　指定在 Body-Lengh(X)的±1/2以内的范围内。
　- 请将 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset Y 　指定在 Body-Width(Y)的±1/2以内的范围内。
·Ref. Die Pos Type　为 "WaferMap"时
　- 请将 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset X 　指定在 Body-Lengh(X)的±1/2以内的范围内。
　- 请将 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset Y 　指定在 Body-Width(Y)的±1/2以内的范围内。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC4
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 定期画像处理功能的有效／无效设定异常( 补充编码 )
Remedy: 请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Process Time　Mode 设定为　”ON” 或者
”OFF”。
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设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC5
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 通过时Reference参照功能的有效／无效设定异常( 补充编码 )
Remedy: 请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Passage Ref. Die　Mode 设定为　”ON”
或者 ”OFF”。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC6
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Local Reference名称文字列异常
( 补充编码 )
Remedy: 请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Local Ref. Die Info - MarkName　设定在
30文字以下。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC7
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Local Reference mark修正量指定异常( 补充编码 )
Remedy: ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
　- 请将 Local Ref. Die Info - Offset X 　指定在 -18.0　～ 18.0 的范围内。
　- 请将 Local Ref. Die Info - Offset Y 　指定在 -18.0　～ 18.0 的范围内。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC8
Display: 外形数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Local Reference mark设定在了Reference晶片外。( 补充编码 )
Remedy: ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
　- 请将 Local Ref. Die Info - Offset X 指定在 Body-Lengh(X)的±1/2以内的范围内。
　- 请将 Local Ref. Die Info - Offset Y 指定在 Body-Width(Y)的±1/2以内的范围内。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC9
Display: 外形数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 使用的 Reference mark 超过10个种类( 补充编码 )
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Remedy: 一个Job中可以使用的 Reference mark 最多为10种。请将 Reference mark 修正设定在10个种类以下后
，重新传送Job。
对象项目
· ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
　　- Ref.Die Pos Info by Matrix - MarkName
　　- Ref.Die Pos Info by WaferMap - MarkName
　　- Local Ref. Die Info - MarkName
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Code: 80008BCA
Display: 不能利用参考裸芯片
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：是不能利用参考裸芯片的设定。(补充编码)
Remedy: MWU12i：(1)不使用晶圆图的时候，不能使用参考裸芯片。
请确认下记的项目，删除参考裸芯片的登录。
·ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i-Ref.Die Pos Info by Matrix
·ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i-Ref.Die Pos Info by WaferMap
（2）使用Template Map时，不能从晶圆图读取参考裸芯片坐标。
请确认下记项目，在[ Ref.Die Pos Type ]指定"Matrix"，重新登录参考裸芯片。
·ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i-Ref.Die Pos Type
（3）使用Vendor Map时，请确认下记的项目，在[UseWaferMap]中指定"VendorMap"。
·PackageData-PackageProcess-UseWaferMap
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Code: 80008BCB
Display: 外形数据整合性警告
Used by: NXT,AIM
Cause: 因为设定为不进行Reference位置的核对，所以通过时Reference功能不能进行规格所示的动作。
( 补充编码 )
Remedy: 通过时使用Reference功能时，
晶圆与晶圆图表的Reference位置必须一致。
请进行Reference位置核对的设定。
· ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref. Die Pos Type
· ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by Matrix
· ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by WaferMap
请进行显示吸取开始点指定画面的设定，使得可以确认晶圆与晶圆图表的Reference位置是否一致。
· ShapeData-ShapeProcess-Die-FirstPickupPosCheck ：ON
通过时不使用Reference功能时，请将通过时Reference参照功能为OFF。
　· ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Passage Ref. Die　Mode：OFF
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Code: 80008BCC
Display: 外形数据整合性警告
Used by: NXT,AIM
Cause: 影像处理类型为 ”Custom”时，通过时Reference参照功能不动作。( 补充编码 )
Remedy: 通过时使用Reference参照功能时，请将 · ShapeData-ShapeProcess - TopViewRecognition -
SubVisionSystem - VisionProcessPattern 设定为”PP First”或者 ”All Die”或者 ”Auto”。
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Code: 80008BCD
Display: 表面基准吸取有无数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：识别表面所用的数据设定不足。( 补充编码 )
Remedy: 请确认MWU12i：Shape Data - Shape Process - Top View Recognition - Pick Up Using TVR的设定
。使用的主系统的版本不同则可选选项不同，因此请配合可选选项进行以下设定。·可选选项「All parts」或「First
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