FUJI错误代码查询.pdf - 第4402页

Remedy: MWU12i：（1）：请重按START按钮。（2）：用上述(1)的方法不能消除异常时，请重新连接电源。 （3）：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。 ------------------------------ Code: 8000F544 Display: EZ3轴动作用数据异常（晶圆喂料机） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：执行伺服动作…

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数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。请确认顶起筒是否被卡住。请确认顶起筒的安装状态。【伺服错误编
码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。
(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F536
Display: Dam不能排放（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与EZ2轴相关的Dam排放
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F538
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F539
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F53A
Display: EZ2轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F541
Display: EZ3轴的初始化超时（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统中没有完成初始化。(补充编码)
Remedy: MWU12i：（1）：请重按START按钮。（2）：用上述(1)的方法不能消除异常时，请重新连接电源。
（3）：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F542
Display: EZ3轴发生错误所以无法动作(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服错误时，发生动作指示。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F543
Display: EZ3轴动作一致等待 超时（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服动作无法结束。(补充编码)
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Remedy: MWU12i：（1）：请重按START按钮。（2）：用上述(1)的方法不能消除异常时，请重新连接电源。
（3）：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F544
Display: EZ3轴动作用数据异常（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：执行伺服动作时找不到参考数据。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F545
Display: EZ3轴错误（晶圆供料装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。请确认顶起筒是否被卡住。请确认顶起筒的安装状态。【伺服错误编
码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。
(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F546
Display: EZ3轴动作无法启动（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服动作无法开始。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F548
Display: EZ3轴的增益切换失败（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：增益切换失败了。可能是参数设置错误。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F549
Display: EZ3轴不能避让(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：执行伺服动作时可能造成阻碍，所以不能开始伺服动作。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F550
Display: 突起头(Pot)吸取用真空破坏开始延迟异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F551
Display: 突起头(Pot)吸取用真空破坏结束延迟异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F552
Display: 晶圆剥离挡板打开异常（晶圆供应装置）
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Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F553
Display: 晶圆剥离挡板关闭异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F590
Display: 顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：顶起单元里填装了不明的顶起筒。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请从顶起单元中除去顶起筒。
请将除去的顶起筒返还到子错误编码的插口号码中。
子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。
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Code: 8000F591
Display: 顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：顶起单元和顶起筒更换器的排出口存放格里都没有顶起筒。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：在机器内顶起筒有下落的可能。若在顶起单元部及附近有顶起筒，请将其取出。
请将顶起筒设置在子错误编码所显示的存放格号码后，重新使机器开始运转。
子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。
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Code: 8000F592
Display: 顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在顶起筒更换器中没有要更换的顶起筒。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：在机器内顶起筒有下落的可能。若在顶起单元部及附近有顶起筒，请将其取出。
请将顶起筒设置在子错误编码所显示的存放格号码后，重新使机器开始运转。
子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。
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Code: 8000F593
Display: Pot切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：Pot切换失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请在确认Pot、Pot更换器、突起单元的状态后，重新开始生产。
２．步骤１也不能恢复异常时，请维修保养人员进行突起单元、Pot、Pot更换器的确认。
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Code: 8000F594
Display: Pot切换中落下（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：Pot切换失败了。存在Pot落下的可能性。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认Pot是否掉落在机器内。
掉落时，请将Pot设置在Pot更换器后，重新开始生产。
２．步骤１也不能恢复异常时，请维修保养人员进行突起单元、Pot、Pot更换器的确认。
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Code: 8000F595
Display: EY轴干涉异常（晶圆供应装置）
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