semi合集-English.pdf - 第5790页
SEMI P23-0200 © SEMI 1993 , 2000 13 y1 x5 x4 x3 x2 x1 y3 y4 y2 50 u m 50 u m 25 0 um 25 0 um y5 Figure 8 Cell
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 2000 12
y1
x5x4x3x2x1
y3
y4
y2
50 um
50 um
250 um
250 um
y5
Figure 7
Cell
Contact Hole Pattern (Type B)
Defect ID; M
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 200013
y1
x5x4x3x2x1
y3
y4
y2
50 um
50 um
250 um
250 um
y5
Figure 8
Cell
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 2000 14
50 um
50 um
2 um
2 um
5.0
5.0
25.0
25.0
Figure 9
Sub Cell
Right Upper (x5, y1)
(Metrology Measurement Pattern)
; Film Pattern