semi合集-English.pdf - 第5791页
SEMI P23-0200 © SEMI 1993 , 2000 14 50 u m 50 u m 2 u m 2 u m 5. 0 5. 0 25 . 0 25 . 0 Figure 9 Sub Cell Right Upp er (x5, y1) (Metrology Measurement Pattern) ; Film Pattern
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 200013
y1
x5x4x3x2x1
y3
y4
y2
50 um
50 um
250 um
250 um
y5
Figure 8
Cell
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 2000 14
50 um
50 um
2 um
2 um
5.0
5.0
25.0
25.0
Figure 9
Sub Cell
Right Upper (x5, y1)
(Metrology Measurement Pattern)
; Film Pattern
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 200015
50 um
50 um
2 um
2 um
6.0
3.0
25.0
25.0
Figure 10
Sub Cell
Left Upper (x1, y1)
; Film Pattern