semi合集-English.pdf - 第5792页

SEMI P23-0200 © SEMI 1993 , 2000 15 50 u m 50 u m 2 u m 2 u m 6. 0 3. 0 25 . 0 25 . 0 Figure 10 Sub Cell Left Upper (x 1, y1) ; Film Pattern

100%1 / 7923
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 2000 14
50 um
50 um
2 um
2 um
5.0
5.0
25.0
25.0
Figure 9
Sub Cell
Right Upper (x5, y1)
(Metrology Measurement Pattern)
; Film Pattern
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 200015
50 um
50 um
2 um
2 um
6.0
3.0
25.0
25.0
Figure 10
Sub Cell
Left Upper (x1, y1)
; Film Pattern
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 2000 16
50 um
50 um
2 um
2 um
6.0
3.0
25.0
25.0
Figure 11
Sub Cell
Right Lower (x5, y5)
; Film Pattern