semi合集-English.pdf - 第5796页
SEMI P23-0200 © SEMI 1993 , 2000 19 2 u m S qua r e 10 um 14 um Figure 14 Letter (Non False Defects Pattern)
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 2000 18
50 um
50 um
2 um
2 um
Figure 13
Sub Cell
Cell Corner Sample
; Film Pattern
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 200019
2 um Square
10 um
14 um
Figure 14
Letter
(Non False Defects Pattern)
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 2000 20
50 um
50 um
Detail
1 um
1 um
1.5
14.0
2.5
11.5
7.0
0.5
2.0
1.5
2.5
4.5
C
D
A
B
; Film Pattern
; Defect Position
Figure 15
Sub Cell
Wiring (Type A)