semi合集-English.pdf - 第5793页
SEMI P23-0200 © SEMI 1993 , 2000 16 50 u m 50 u m 2 u m 2 u m 6. 0 3. 0 25 .0 25 . 0 Figure 11 Sub Cell Right Lower (x5, y5) ; Film Pattern
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 200015
50 um
50 um
2 um
2 um
6.0
3.0
25.0
25.0
Figure 10
Sub Cell
Left Upper (x1, y1)
; Film Pattern
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 2000 16
50 um
50 um
2 um
2 um
6.0
3.0
25.0
25.0
Figure 11
Sub Cell
Right Lower (x5, y5)
; Film Pattern
SEMI P23-0200 © SEMI 1993, 200017
50 um
50 um
2 um
2 um
3.0
6.05.0
5.0 6.0
3.0
6.0
4.0 4.0
6.0
10.0
14.0
4.0
Figure 12
Sub Cell
Left Lower (X1, y5)
Defect ID & Defect Type
; Film Pattern